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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利说明书
(10)申请公布号CN102337080A
(43)申请公布日2012.02.01
(21)申请号CN201110150388.X
(22)申请日2005.10.21
(71)申请人卡伯特微电子公司
地址美国伊利诺伊州
(72)发明人孙韬罗伯特·梅兹克
(74)专利代理机构北京市柳沈律师事务所
代理人宋莉
(51)Int.CI
C09G1/02
G11B5/84
H01L21/321
权利要求说明书说明书幅图
(54)发明名称
包含表面活性剂的化学机械抛光组
合物
(57)摘要
本发明涉及包含表面活性剂的化学
机械抛光组合物,更具体地说,本发明提
供一种抛光组合物,其包括热解法氧化
铝,α-氧化铝,二氧化硅,非离子表面活
性剂,金属螯合有机酸,及液体载体。本
发明还提供一种化学机械抛光基板的方
法,其包括将基板与抛光垫和化学机械抛
光组合物接触,并磨掉至少部分基板以抛
光该基板。
法律状态
法律状态公告日法律状态信息法律状态
权利要求说明书
1.一种抛光组合物,包含:
(a)约0.2至约1重量%的热解法氧化铝,
(b)约0.1至约1重量%的α-氧化铝,
(c)约0.1至约4重量%的二氧化硅,其中所述二氧化硅为胶体二氧化硅,
(d)约10至约1000ppm的非离子表面活性剂,
(e)金属螯合有机酸,
(f)氧化剂,其选自过氧化氢、脲过氧化氢、过硫酸、过氧乙酸、过硼酸、它们的盐、
以及它们的组合,和
(g)液体载体。
2.权利要求1的抛光组合物,其中该非离子表面活性剂选自包含硅氧烷单元、氧化
乙烯单元和氧化丙烯单元的共聚物表面活性剂。
3.权利要求1的抛光组合物,其中该非离子表面活性剂选自包含丙烯酸的聚合物。
4.权利要求1的抛光组合物,其中该非离子表面活性剂选自一端为全氟化烷基链而
另一端为羟基或烷基的氧化乙烯线性聚合物。
5.权利要求1的抛光组合物,其中该非离子表面活性剂选自具有氧化乙烯单元和氧
化丙烯单元的乙二胺共聚物。
6.权利要求1的抛光组合物,其中该金属螯合有机酸选自丙二酸,琥珀酸,己二酸,
乳酸,顺-丁烯二酸,苹果酸,柠檬酸,甘氨酸,天冬氨酸,酒石酸,葡萄糖酸,
亚氨二乙酸,及反-丁烯二酸。
7.权利要求1的抛光组合物,其中该液体载体包括水。
8.权利要求7的抛光组合物,其中该抛光组合物的pH为约1至约7。
9.权利要求8的抛光组合物,其中该抛光组合物的pH为约2至约5。
10.权利要求1的抛光组合物,其中该氧化剂为过氧化氢。
11.权利要求1的抛光组合物,包含:
(a)约0.2至约1重量%的热解法氧化铝,
(b)约0.1至约1重量%的α-氧化铝,
(c)约0.1至约4重量%的胶体二氧化硅,
(d)约10至约1000ppm的非离子表面活性剂,其中该非离子表面活性剂选自包括硅
氧烷单元、氧化乙烯单元和氧化丙烯单元的共聚物表面活性剂,
(e)金属螯合有机酸,
(f)氧化剂,其选自过氧化氢、脲过氧化氢、过硫酸、过氧乙酸、过硼酸、它们的盐、
以及它们的组合,和
(g)液体载体,其中该液体载体为水,
其中该抛光组合物的pH为约2至约5。
12.权利要求1的抛光组合物,包含:
(a)约0.2至约1重量%的热解法氧化铝,
(b)约0.1至约1重量%的α-氧化铝,
(c)约0.1至约4重量%的胶体二氧化硅,
(d)约10至约1000ppm的非离子表面活性剂,其中该非离子表面活性剂选自具有氧
化乙烯单元和氧化丙烯单元的乙二胺共聚物,
(e)金属螯合有机酸,其中该金属螯合有机酸为酒石酸,
(f)过氧化氢,和
(g)液体载体,其中该液体载体为水,
其中该抛
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