制造技术及其应用.pptVIP

;微流体力学;生物/医疗

细胞操作

细胞融合

生物分子操作

灵巧弹丸

微型手术

施药

血液分析;美国1987年美国加州大学伯克莱分校研制成功外径为100微米、转子直径为60微米的硅静电微马达，使人们认识到用硅微加工方法制造微机械及集成微机电系统的巨大潜力。;美国的MIT，Berkeley，Stanford，ATT和NSF的15名科学家在80年代末就提出“小机器，大机遇：关于新兴领域----微动力学的报告”的国家建议书，并声称“由于微动力学(微电子机械系统，MicroElectro-MechanicalSystems,MEMS）在美国的紧迫性，我国应在这样的一个新的重要技术领域与其它国家的竞争中走在前面”。;得到美国领导机构重视，连续大力投资。近十年开发出各类微机械、微传感器和微执行器，且微压力传感器、微加速度传感器和微喷已成功地产业化。美国宇航局投资1亿美元着手研制“微型卫星”。;;ADI公司生产的微加速度机MEMS芯片;;;;智能尘埃的概念;日本通产省1991年开始启动一项为期10年的耗资250亿日元的“微型机械(MicroMachine)”大型研究计划，研制两台样机，一台用于医疗，进入人体进行诊断和微型手术。另一台用于工业，对飞机发动机和原子能设备的微小裂纹实施维修；;昆虫上的MEMS;;;德国自1988年开始一个微加工十年计划项目，其科技部于90-93年拨款4亿马克支持“微系统(MicroSystems)技术”研究，并把微系统列为2000年科技发展的重点;;MEMS在航空、航天、汽车、生物医学、环境监控、军事以及几乎人们接触到的所有领域中都有着十分广阔的应用前景

微惯性传感器及微型惯性测量组合能应用于制导、卫星控制、汽车自动驾驶、汽车防撞气囊、汽车防抱死系统(ABS)、稳定控制和玩具

微流量系统和微分析仪可用于微推进、伤员救护

MEMS系统还可以用于医疗、高密度存储和显示、光谱分析、信息采集等等

已经制造出尖端直径为5?m的可以夹起一个红细胞的微型镊子，可以在磁场中飞行的象蝴蝶大小的飞机等;MEMS传感器在汽车上的应用;MEMS技术的应用;MEMS技术的应用;MEMS技术的应用;微能源方面的应用：

1.薄膜锂离子微电池

??在1cm2面积上构造5000-10000个微型电池阵列；

??容量达到50-75?mA-hr/mm-cm2；

???循环寿命：5000次

2.微锌镍电池

灌注电液的液量少于1微升

3.MEMS微发电机系统

利用外界环境振动实现静电转换的MEMS可变电容器系统;4.微型质子交换膜燃料电池

氢气为燃料、空气为氧化剂

甲醇、乙醇、二甲醚等多种溶剂为燃料和空气为氧化剂;5.感应式微发电机;;;MEMS原子钟;;;;微针给药;/products/diagn/uneedle.html;SiliconMicromachinedHollowMicroneedlesforTransdermalLiquidTransport;BasicDeviceOperationPrinciple;非致冷红外焦平面器件;红外探测器CMOS芯片;电容式微加速度计;光学MEMS器件;新器件——组件;各种光学元器件

透镜、波带片、滤波器、光栅及各种致动机构;微光学系统;微透镜阵列;微型显示阵列（光调制器）;DMD——应用;DMD——应用;光开关;

微机械2?2光开关微机械2?4光开关;SEMView;;Application;CoatingforMOEMS–LightDeflectionandModulation;SLM‘sforProgrammableMasks;;;新器件——组件;美国喷气推进实验室(JPL)展示的采用MEMS技术的电阻电热式微推进器样机（液体气化方式）。微推进器由薄膜加热器、微型喷口等组成。其性能目标为：比冲75～125s，推力0.5mN，功率5W，效率≥50%，质量为几克，大小为1cm2。;美国喷气推进实验室(JPL)展示的采用MEMS技术的电阻电热式微推进器样机(固体升华方式)。微推进器由推进剂出贮箱、微阀、微过滤器、微型喷口等组成，微型喷口利用MEMS技术中的体硅工艺制作。其性能目标为：比冲50～75s，推力0.5mN，功率2W/mN，质量为几克，大小为1cm2。;美国TRW公司、航空航天公司和加州理工学院（CIT）组成的研究小组提出了一个“数字推进概念”方案。硅片上有集成电路来开启和控制每个微推进器。整个推进系统还可充当卫星的散热器，以进一步减小卫星的有效载荷。制作方法可以用目前已成熟的MEMS及LIGA技术。图为他们于99年初发表了