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S
DOC.#：文件号REV：版本
PI-C-017100
Reason(s)forUpdate更新原因：新建立PRODUCT产品：
ORIGINATORTECHQCMFG
部门CUSTOMER客户：AllCustomer
编制技术质量制造
签名WORKSTATION工序名称：
日期PAGE：页1OF2
1.0仪器/工具/材料
1.1仪器：四探针测试仪、电子秤
1.2工具：高温手套，棉布手套，PVC手套
1.3材料：硅片、三氯氧磷
2.0注意事项
2.1工艺部各班指定一人，跟踪整个流程，生产部至少安排两人进行操作
2.2手套要及时更换，保证手套干净,特别是清洁和取片子时需戴好手套
2.3当班工艺人员负责提醒生产员工注意插片方向（统一要求插片方向，防止接下来的扩散面出错）
3.0附录：返工流程图
S
DOC.#：文件号REV：版本
PI-C-017100
Reason(s)forUpdate更新原因：新建立PRODUCT产品：
ORIGINATORTECHQCMFG
部门CUSTOMER客户：AllCustomer
编制技术质量制造
签名WORKSTATION工序名称：
日期PAGE：页2OF2
生产准备
获取“返工工序流程单”扩散面哪面需非扩散面获取“扩散返工流转单
返工
并在流程单上注明“扩散号”并在流程单上注明
面返工”字样“非扩散面返工”字样
将片子传到后清洗将片子传到后清洗
后清洗扩散面朝下放置，后清洗非扩散面朝下放
收片时上表面朝外两片异常置
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