OPTORUN镀膜机离子源的维护保养说明书.docx

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OPTORUN离子源的维护保养说明

离子源的维护和Grid的分解和组装方法

长时间运转後，石英杯会被镀上一层的导电性膜，因此会引起输出功率下降，此时请进展打砂处理或使用洗净液〔请使用不影响SiO2的洗净液〕等除去膜层。

石英杯的清扫周期通常是50~100小时。〔依据使用状况更改维护的周期〕。留意：请留意石英杯很简洁损坏。

在对石英杯进展打砂时，请使用粒度＃100的Al粒子，并保持0.1～0.2MＰａ的低压力，英杯30cm以上进展打砂作业。

绝缘子的清洁

长时间使用后，GridAss部y

分的绝缘子会被镀上一层的导电性膜，此会

引起Grid的短路，不能正常发挥作用。并会消灭ACC电流