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开题报告
MEMS气体压力传感器的设计与封装争论
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老
师：
论文题目论文选题来源
MEMS气体压力传感器的设计与封装争论
国家及科研工程 ?省级科研工程
市校级科研工程 √自选工程
本课题争论的目的，对国民经济或学术上的价值和意义，国内外争论现状及进展趋势：
本课题的总体目标是在MEMS气体压力传感器设计和封装等方面取得肯定具有实际应用价值的争论成果，形成有特色的争论体系。通过对硅压阻压力传感芯片的一系列争论，为MEMS气体压力传感器的设计、封装和应用供给重要的依据。
一、争论目的
MEMS(Microel
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