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{生产工艺技术}扩散
工艺说明尚德
旧底图总号
底图总号
日期签名
产品名称单晶硅电池片
SF工艺说明产品图号SF5.405.010编号
旧底图总号
第2张共7
底图总号版号01工位名称扩散工位编号KS需要人数张
4.6方块电阻测量（见附页三）
日期签名
4.6.1
旧底图总号放入片盒中，注意区分扩散面和非扩散面，扩散面一定要朝片盒的大面放置。
底图总号4.6.2
日期签名方块电阻时注意探针距硅片边缘的距离要大于1cm
《方块电阻记录表》。
产品名称单晶硅电池片
4.6.3方块电阻值要求在40±5Ω范围内，不均匀度不超过10编号
SF工艺说明产品图号SF5.405.010
插片
第4张共7
版号01工位名称扩散工位编号KS需要人数
（R最大-R最小）/（R最大+R最小）×100%即为不均匀度。张
石英吸笔，从片
附页一：装片、检验
4.7卸片、检验（见附页四）
旧底图总号4.7.1片盒盒中吸取硅片
4.7.2通过传递窗流入下道工序。
插到石英舟内。
底图总号4.8工艺参数
日期签名4.8.1扩散工艺参数
在各炉管中，均定义为01号工艺。
产品名称单晶硅电池片
SF工艺说明产品图号SF5.405.010编号
移动、放置石
时间（分钟）温度（℃）大N2小N2O2（L/min）
第5张共7
版号01工位名称扩散工位编号KS需要人数触摸屏
（L/min）（L/min）张
英舟时，一定
进炉6840~89025~3020
附页二：上桨
要小心轻放！
稳定9840~89025~3020
旧底图总号
底
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