磁控溅射法制备柔性纺织面料基纳米薄膜的研究与进展.pptxVIP

磁控溅射法制备柔性纺织面料基纳米薄膜的研究与进展汇报人：2024-01-13

引言磁控溅射法制备技术原理及特点柔性纺织面料基材选择与预处理纳米薄膜制备过程优化与控制纳米薄膜性能表征与评价方法磁控溅射法制备柔性纺织面料基纳米薄膜应用前景展望

引言01

纺织面料的功能化需求01随着科技的进步和人们生活水平的提高，对纺织面料的功能化需求日益增加，如防水、透气、抗菌、抗静电等。纳米技术在纺织领域的应用02纳米技术为纺织面料的功能化提供了新的途径，通过制备纳米薄膜可以实现多种功能。磁控溅射法制备纳米薄膜的优势03磁控溅射法是一种物理气相沉积技术，具有制备过程简单、易控制、薄膜均匀致密等优点，适用于在柔性纺织面料上制备纳米薄膜。研究背景与意义

目前，国内外学者已经采用磁控溅射法在多种基材上成功制备了纳米薄膜，但在柔性纺织面料上的应用研究相对较少。国内外研究现状随着柔性电子、可穿戴设备等领域的快速发展，对柔性纺织面料基纳米薄膜的需求将不断增加。未来，研究重点将集中在提高纳米薄膜与纺织面料的结合力、优化薄膜性能、实现大规模生产等方面。发展趋势国内外研究现状及发展趋势

0102研究目的本项目旨在通过磁控溅射法在柔性纺织面料上制备具有优异性能的纳米薄膜，并研究其制备工艺、性能及应用前景。磁控溅射法制备纳米薄膜…包括溅射靶材的选择、工艺参数的优化等；纳米薄膜的形貌、结构及…采用多种手段对纳米薄膜的形貌、结构及性能进行表征；纳米薄膜与纺织面料的结…探讨提高纳米薄膜与纺织面料结合力的方法；纳米薄膜的应用前景研究探索纳米薄膜在柔性电子、可穿戴设备等领域的应用前景。030405本项目研究目的和内容

磁控溅射法制备技术原理及特点02

利用磁场对带电粒子的洛伦兹力作用，控制溅射粒子的运动轨迹和能量，实现高纯度、高效率的薄膜沉积。磁场控制在真空环境下，通过高能粒子轰击靶材，使靶材原子或分子从表面逸出，形成溅射粒子流，在基片上沉积形成薄膜。溅射过程磁控溅射法基本原理

根据所需薄膜的成分和性能要求，选择合适的靶材材料，如金属、合金、陶瓷等。通过调整靶材的化学成分、组织结构、制备工艺等，提高靶材的溅射效率和薄膜质量。溅射靶材选择与优化靶材优化靶材选择

工作气体压力溅射功率基片温度真空度工艺参数对薄膜性能影响影响溅射粒子的能量和角度分布，进而影响薄膜的致密性、附着力和内应力等性能。影响薄膜的结晶性、晶粒大小和残余应力等性能。影响溅射粒子的数量和能量，从而改变薄膜的沉积速率和厚度均匀性。影响薄膜的纯度和致密性，避免氧化和污染等问题。

柔性纺织面料基材选择与预处理03

常见柔性纺织面料类型及特点吸湿性好，透气性强，柔软舒适，但弹性较差。弹性好，耐磨性强，尺寸稳定性好，但吸湿性差。强度高，耐磨性好，弹性优良，但吸湿性较差。弹性极佳，耐磨性好，但耐热性和吸湿性较差。棉质面料涤纶面料尼龙面料氨纶面料

物理预处理通过打磨、喷砂等方法增加基材表面粗糙度，提高纳米薄膜与基材的结合力。化学预处理采用酸碱处理、氧化还原等方法改变基材表面化学性质，增加纳米薄膜与基材的相容性。等离子体预处理利用等离子体技术对基材表面进行改性，提高纳米薄膜在基材上的附着力和耐久性。基材表面预处理方法与效果

根据基材和纳米薄膜的性质选择合适的粘合剂，确保两者之间的紧密结合。选择合适的粘合剂优化粘合工艺表面改性处理采用多层复合技术通过调整粘合剂的浓度、粘合温度和压力等参数，优化粘合工艺，提高结合力。对基材或纳米薄膜进行表面改性处理，如接枝、交联等，以增加两者之间的相容性和结合力。在基材和纳米薄膜之间引入中间层或多层结构，形成多层复合体系，提高整体力学性能和耐久性。基材与纳米薄膜结合力提升策略

纳米薄膜制备过程优化与控制04

溅射过程中关键参数控制溅射功率控制溅射功率可以影响薄膜的沉积速率和薄膜的结构。适当提高溅射功率可以增加原子的动能，促进薄膜的致密化和结晶化。工作气压工作气压对薄膜的质量和性能有显著影响。过低的气压可能导致薄膜结构疏松，而过高的气压则可能引入杂质和缺陷。靶材与基材间距间距的调整可以改变溅射原子在空间的分布，从而影响薄膜的厚度和均匀性。

03掩膜技术利用掩膜遮挡部分基材，可以实现局部区域的薄膜沉积，进一步提高薄膜的均匀性。01基材旋转通过使基材在溅射过程中匀速旋转，可以确保薄膜在基材上均匀沉积。02多靶共溅射采用多个靶材共同溅射的方法，可以调整不同靶材的溅射速率，从而改善薄膜的成分和厚度均匀性。薄膜厚度均匀性保障措施

通过引入自动化控制系统，实现溅射过程的精确控制和自动化操作，减少人工干预，提高生产效率。自动化控制开发大面积连续生产技术，实现纳米薄膜的连续、高效生产，降低单位产品的生产成本。大面积连续生产改进靶材设计，提高靶材利用率，减少靶材更换频率，降低生产成本。同时，开发新型、低成本靶材