(高清版)B-T 25915.15-2022 洁净室及相关受控环境 第15部分：按气态化学物浓度评定设备及材料的适用性.pdfVIP

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CCSC70

中华人民共和国国家标准

GB/T25915.15—2022/ISO14644-15:2017

洁净室及相关受控环境

第15部分：按气态化学物浓度评定

设备及材料的适用性

Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments—

Part15:Assessmentofsuitabilityforuseofequipmentandmaterialsby

airbornechemicalconcentration

(ISO14644-15:2017,IDT)

2022-12-30发布2023-07-01实施

国家市场监督管理总局

国家标准化管理委员会发布

GB/T25915.15—2022/ISO14644-15:2017

目次

前言Ⅲ

引言IV

1范围1

2规范性引用文件1

3术语和定义1

4符号3

5检测装置4

6代表性模式6

7目视检查7

8检测流程7

9浓度的计算8

10特定释放速率的计算8

11评定9

12记录10

附录A(资料性)已安装设备的适用性评定示例12

附录B(资料性)洁净室或洁净区域已安装板壁材料的适用性评定计算示例13

附录C(资料性)设计阶段洁净室设备和地面材料适用性评定14

参考文献16

I

GB/T25915.15—2022/ISO14644-15:2017

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

GB/T25915GB/T25915

本文件是《洁净室及相关受控环境》的第15部分。已经发布了以下

部分：

——第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级；

——第2部分：洁净室空气粒子浓度的监测；

——第3部分：检测方法；

—-第4部分：设计、建造、启动；

——第5部分：运行；

-—第6部分：词汇

——第7部分：隔离装置(洁净风罩、手套箱、隔离器、微环境);

——第8部分：按化学物浓度划分空气洁净度(ACC)等级；

——第9部分：按粒子浓度划分表面洁净度等级；

——第10部分：按化学物浓度划分表面洁净度等级；

——第12部分：监测空气中纳米粒子浓度的技术要求；

——第13部分：达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁；

——第14部分：按粒子浓度评估设备适用性；

——第15部分：按气态化学物浓度评定设备及材料的适用性。

本文件等