【英语版】国际标准 ISO/TR 12705:2011 EN 制图技术 平版印刷化学鬼影的实验室测试方法 Graphic technology — Laboratory test method for chemical ghosting in lithography.pdf

ISO/TR12705:2011ENGraphictechnology—实验室测试方法在光刻制版中的化学隐形技术—这是一个国际标准化组织（ISO）的技术报告标准（TR）。它提供了一种实验室测试方法，用于评估和量化在光刻制版过程中化学隐形技术的效果。

在光刻制版过程中，化学隐形技术是一种通过使用特殊化学物质和工艺，使图形在光刻胶上产生非预期的“隐形”效果的技术。这有助于在某些情况下减少光刻过程的光影干扰，从而提高图形清晰度和最终的制版质量。

ISO/TR12705详细描述了实验室测试流程和方法，包括所需设备、试剂、材料和步骤。这个测试旨在评估隐形技术的效果，包括但不限于隐形区域的大小、分布和强度等参数。测试结果可用于优化隐形技术的工艺参数，进一步改进光刻制版的性能。

ISO/TR12705:2011EN提供了用于评估和量化光刻制版中化学隐形技术效果的实验室测试方法，有助于提高图形清晰度和制版质量。