【英语版】国际标准 ISO/TR 14999-3:2005 EN Optics and photonics — Interferometric measurement of optical elements and optical systems — Part 3: Calibration and validation of interferometric test equipment and measurements 光学和光子学 光学元件和光学系统的干涉测量 第3部分：干涉测量测试设备和测量.pdf

ISO/TR14999-3:2005光学和光子学—光学元件和光学系统的干涉测量法—第3部分：干涉测量设备的校准和验证是对光学元件和光学系统的干涉测量法的详细规范。本部分为干涉测量设备的校准和验证提供了技术报告，该设备在光子学、测量科学、物理、半导体、医疗设备和其它光电子设备领域中有广泛的应用。此标准涉及干涉计量的测量系统和相关设备的验证以及使用的环境。该标准包含如何确定设备的准确性，包括定义校准目标，设计测试计划，以及进行适当的实验和分析以获得数据的过程。这个标准详细阐述了干涉测量设备的特性，如线性度、重复性、偏心度等，并给出了评估和校准这些特性的具体步骤。本部分也描述了如何评估设备在不同环境条件下的性能，包括温度、湿度和振动等环境因素。这个标准还提供了如何验证干涉测量设备的测量结果，包括如何处理数据，如何进行不确定度的评估，以及如何进行结果的解释和报告。ISO/TR14999-3:2005ENOpticsandphotonics—Interferometricmeasurementofopticalelementsandopticalsystems—Part3:Calibrationandvalidationofinterferometrictestequipmentandmeasurements是一个非常重要的标准，它为干涉测量设备的设计、制造、校准、验证和使用提供了详细的指南。