产品几何技术规范（GPS） 表面结构 区域法 第700部分：区域形貌测量仪的校准、调整和验证 征求意见稿.docx

GB/T33523.700—xxxx/ISO25178-700:2022

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产品几何技术规范（GPS）表面结构：区域法第700部分：区域形貌测量仪器的校准、调整和验证

1范围

本文件规定了用于校准、调整和验证ISO25178-600中所述的区域形貌测量仪器共有的计量特性的通用程序。

由于表面轮廓可以从表面形貌图像中提取，因此本文件描述的大多数方法可以适用于轮廓法测量仪器。

本文件不涉及仪器特定的问题。例如，对于探头按照弧形运动的机械式探测仪器，ISO25178-701中规定了额外的测量标准。

本文件不涉及ISO25178-6中规定的区域整体法（例如用于表面形貌测量的光散射法）的程序。

2规范性引用文件

以下文件在文中所提及的部分或全部内容构成了本文件的要求。凡是注明日期的引用文件，仅该引用的版本适用。凡是未注明日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括任何修订）适用。

ISO25178-600:2019产品几何技术规范（GPS）表面结构：区域法第600部分：区域形貌测量方法的计量特性[Geometricalproductspecifications(GPS)—Surfacetexture:Areal—Part600:Metrologicalcharacteristicsforarealtopographymeasuringmethods]

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

3.1

非测点non-measuredpoints

不存在有效测量值的表面位置。注1：非测点的处理见6.3。

注2：非测点可能是由测量仪器的特征或测量标准上超出了仪器测量范围的表面缺陷引起的。

3.2

虚假数据spuriousdata

根据测量原理认定为可测量的，但根据先验知识明显偏离合理值范围的数据。

注1：虚假数据可能是单点或一组点，这些点被测量仪器认定为可测点，根据待测表面和仪器的先验知识，或仅根据表面上的缺陷和污染，判断其值可能不存在，从而将其识别为虚假数据。虚假数据可能以异常值或尖刺的形式出现。

注2：虚假数据可能由环境条件（例如振动或外部光源）、表面与仪器之间的相互作用或仅由表面上的缺陷和污染导致。虚假数据可能以异常值或尖刺的形式出现。

注3：虚假数据的处理见6.4。

3.3

测量噪声measurementnoise

NM

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5

在仪器正常使用过程中出现的叠加在输出信号上的噪声。[来源：ISO25178-600:2019的3.1.15，有修改]

3.4

仪器噪声instrumentnoise

NI

当仪器处于一个理想的无噪声环境中时，叠加在输出信号上的内部噪声。[来源：ISO25178-600:2019的3.1.14，有修改]

3.5

z轴线性偏差z-linearitydeviation

lz

推导出放大倍数的直线与响应函数之间的最大局部线性差异。[来源：ISO25178-600:2019的3.1.11，有修改]

3.6

仪器传递函数曲线instrumenttransferfunctioncurve

fITF

将仪器的高度响应描述为表面形貌空间频率的函数的曲线。[来源：ISO25178-600:2019的3.1.19，有修改]

3.7

形貌保真度topographyfidelity

TFI

测得的表面轮廓或形貌与不确定度微不足道的表面轮廓或形貌之间通过比较得出的一致程度。

[来源：ISO25178-600:2019的3.1.26，有修改]

4符号和缩略语

区域形貌测量方法的计量特性及相关符号和缩略语在ISO25178-600中进行了定义。表

1包含了这些计量特性的清单。

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表1—表面结构测量方法计量特性表a

计量特性（本文件中的条款）

符号

定义所在ISO25178-600:2019的条款和图

主要潜在误差所在坐标

轴

（ISO25178-600:2019

的3.1.2）

放大倍数（6.7）

αx、αy、αz

3.1.10（图2）

x、y、z

线性偏差（6.8）

lx、ly、lz

3.1.11（图2）

x、y、z

平面度偏差（6.6）

zFLT

3.1.12

z

测量噪声（6.5）

NM

3.1.15

z

形貌空间分辨力（6.11）

WR

3.1.20

z

x-y映射偏差（6.9）

△x(x,y)、△y(x,y)

3.1.13