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电子与物质的相互作用演示文稿

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子与物的相互作用

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一.二次电子

1.产生：入射电子束轰击出来并离开样品表面的

样品中的核外电子。

2.特点：⑴能量较低（50eV）；

⑵一般在表层5~10nm深度范围内

发射出来，对样品表面形貌非常敏感。

(3)与原子序数无关，不能做成份分析

3.作用：样品表面形貌分析。

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二次电子成像原理

①二次电子能量较低，只能从样品表面层5~10nm深度范

围内激发出来；

②其数量和原子序数没有明显的关系，但对微区表面的形

状十分敏感；

③样品上凸出的尖棱、小粒子以及比较陡的斜面处二次

电子的产额较多，在荧光屏上亮度较大，平面上二次电

子产额较小，亮度较低；在深的凹槽底部虽然也能产生

较多的二次电子，但这些二次电子不易被检测器收集到，

因此槽底较暗。

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二.背散射电子

1.产生：背散射电子是被固体样品中原子反弹回来的一部分

入射电子。

包括：弹性背散射电子——被样品中原子反弹回来的入

射电子，能量基本没有损失，能量很高。

非弹性背散射电子——被样品中核外电子撞击后

产生非弹性散射的入射电子，方向和能量均发生改

变，经多次散射后仍能反弹出样品表面的入射电

子。

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2.特点：背散射电子来自样品表层几百纳米(50～

1000nm)的深度范围，其产额能随样品原子序数的

增大而增多。

3.作用：不仅能做形貌分析，还可定性作成分分

析。

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背散射电子形貌衬度特点（与二次电子形貌像的区

别）

⑴分辨率远比二次电子低；

⑵背散射电子的能量较高，它们以直线轨迹逸出样

品表面，对于背向检测器的样品表面，因检测器

无法收集到背散射电子而变成了一片阴影，图像

衬度太大会失去细节的层次，不利于分析。

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⑶而二次电子能量低，可利用检测器收集栅上加一定正电

压来吸引能量较低的二次电子，使它们以弧形路线进入闪

烁体，使背向检测器的部位逸出的电子也能对成像有贡献，

使图像层次增加，细节清楚。

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2.背散射电子原子序数衬度原理

⑴原子序数衬度：是利用对样品微区原子序数或化

学成分变化敏感的物理信号作为调制信号得到的，

表示微区化学成分差别的像衬度。

对微区原子序数或化学成分的变化敏感信号：

背散射电子、吸收电子、特征X射线、俄歇电子等。

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⑵背散射电子原子序数衬度原理

背散射电子的产额随样品原子序数的增大而增加，因而，

样品上原子序数较高的区域，产生较强的信号，荧光屏

上图像较亮，这样可以根据背散射电子像亮暗衬度来判

断相应区域原子序数的相对高低，对金属及其合金进行

化学成分的半定性分析。

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