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ABSTRACT
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塑料微纳结构热压设备真空装置的研究
摘要
当今的世界，自动化已然成为经济发展以及工业发展的主要趋势。谈到自动化，自然离不开芯片的使用。热压技术便是当今芯片的主要制作工艺。芯片的质量常常会受到大气的影响。在大气中制作的微纳结构，常会产生气泡、裂纹等危害，严重影响芯片的使用寿命以及使用性能。因此本文的主要研究内容如下：
针对当前市场热压设备不具备真空系统这一问题，本文设计研究了热压设备真空系统，可最大程度地解决这一问题。本文设计了热压设备真空装置的主要机械结构，同时也对热压过程的温度以及真空
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