electrical properties of the la2o3-4hsic interface prepared by atomic layer deposition using and h2ottp2006使用laiprcp3h2o通过原子层沉积制备界面电学特性.pdfVIP
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MaterialsScienceForumVols.527-529(2006)pp.1083-1086
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ElectricalPropertiesoftheLaO/4H-SiCInterfacePreparedbyAtomic
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