SJ_T 11763-2020 半导体制造设备人机界面规范.docx

ICS31-550L95

中华人民共和国电子行业标准

SJ/T11763—2020

半导体制造设备人机界面规范

Specificationforhumaninterfaceforsemiconductormanufacturingequipment

2020-12-09发布2021-04-01实施

中华人民共和国工业和信息化部发布

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SJ/T11763—2020

前言

本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。

本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(TC203)提出并归口。

本标准起草单位：北京北方华创微电子装备有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院、北方华创科技集团股份有限公司、东莞市中镓半导体科技有限公司、秦皇岛视听机械研究所、上海微电子

装备有限公司、北京京仪自动化装备技术有限公司、中微半导体设备(上海)有限公司。

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SJ/T11763—2020

半导体制造设备人机界面规范

1范围

本标准规定了半导体制造设备人机界面的术语和要求。

本标准适用于半导体制造设备。其他领域如平板显示器制造设备也可参考本标准，但不在本标准适用范围之内。

注1:本标准中的图均为示意图，未给出比例。除非特别规定，示意图未给出按钮、按钮大小及面板大小等详细信息。

注2:本标准不涉及在标准应用过程中产生的安全问题。在使用本标准之前，标准使用者有责任建立适当的安全和健康实务，并确定管理的适用性及其他限制条件。

2术语

下列术语和定义适用于本文件。2.1

显示对象displayobjects

显示在屏幕上的用户界面元素称为显示对象，例如功能选择按钮、键盘输入按钮队及表示设备的图

形等。

2.2

图标icon

图标是一种位图或其他格式图像，可以使用在视窗系统等图形用户界面环境下表示不同类型的对象，提高可操作性，帮助用户更好的理解按钮功能。

2.3

导航模型navigationmodel

在与系统交互过程中，引导用户完成功能操作和信息获取。2.4

场景condition

显示对象的属性或值(文本或数字)的一种可视化表示方式。如果显示对象的当前状态或值超出了规定的正常操作状态或参数的边界，无论这种异常是轻微的(提醒)或者严重的(警告)都需要使用可视化表示，如无异常发生则不需要使用可视化表示。

2.5

功能区functionarea

根据呈现给用户的信息和控制性能，把一个或多个视图划分为一组称之为功能区。2.6

突出显示区salience

突出显示区是在显示对象周围使用纯色(或纹理)图案以及不同颜色填充的边界区域，可以表示显示对象的警告、提醒等场景，也可以用来吸引用户关注显示对象。

2.7

人机交互Human-ComputerInteraction(HCI)

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SJ/T11763—2020

人机交互是指人与计算机之间使用某种对话语言，以一定的交互方式，为完成确定任务的人与计算机之间的信息交换过程。

3要求

3.1说明

本章内容均以下列标签进行标记：

【描述】——提供背景信息以及为随后的规定设置上下文；【应执行的要求】——应具备并且符合本标准规定的要求；

【有条件的要求】——当设备具有某项功能时，应符合本标准相应规定的要求；

【建议】——建议采用的功能，但这些功能并不要求具备并且符合本标准的相应要求。

3.2基本显示对象

3.2.1通则【描述】

3.2.1.1本条规定用户界面中基本显示对象的整体外观和行为。这些基本显示对象包括按钮、突出显示区和对话框，其他类型的显示对象(选择列表、数据显示和数据输入区域、滚动条等)也可使用。

3.2.1.2显示对象分为两种类型：可选择性显示对象和不可选择性显示对象。可选择性显示对象可被用户触发或执行某一动作。不可选择的图形或用户界面元素(如管道和文本标签)仅能被读取，无法触发或执行某一动作。

3.2.2按钮

3.2.2.1按钮大小【应执行的要求】

若采用触摸屏设备，按钮尺寸应确保目标按钮能够被方便、准确地选择。

3.2.2.2按钮尺寸【建议】

按钮的最短边长应大于1.5cm。当尺寸更小时，按钮之间的间距应加大，以避免造成选择错误。当安装装置中的键盘、鼠标、光笔或其他点击输入设备可用时，在导航面板和命令面板中的按钮尺寸可以稍小一些(大约1cm～1.25cm),以便信息面板的尺寸可以适当增大