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目录
1绪论 1
1.1铁电材料概述 1
1.2电介质材料发展及应用 3
1.2.1电介质材料储能原理 4
1.2.2常见电介质材料分类 6
1.3钛酸铋钠基铁电材料概述 7
2BNT铁电薄膜的制备与表征 9
2.1实验材料及设备 9
2.2薄膜制备及实验环境 10
2.2.1前驱体的制备 10
2.2.2基底的选择与清洗 11
2.2.3薄膜制备过程 11
2.2.4顶电极制备 12
2.3薄膜的微观结构表征 12
2.4薄膜电学性能测试 13
3BNT(1-x)Mnx薄
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