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多晶硅片技术标准
1范围
1.1本要求规定了多晶硅片的分类、技术要求、包装以及检验规范等
1.2本要求适用于多晶硅片的采购及其检验。
2规范性引用文件
2.1GB/T1557硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法
2.2GB/T1558硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法
2.3ASTMF1535用非接触测量微波反射所致光电导性衰减测定载流子复合寿命
的试验方法
3术语和定义
3.1TV：硅片中心点的厚度，是指一批硅片的厚度分布情况；
3.2TTV：总厚度误差，是指一片硅片的最厚和最薄的误差（标
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