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1、解释基本概念:集成电路,集成度,特征尺寸参考答案:
A、集成电路(IC:integratedcircuit)是指通过一系列特定的加工工艺,将晶体管、二极管等有源器件和电阻、电容等无源器件,按照一定的电路互连,“集成”在一块半导体晶片(如硅或砷化镓)上,封装在一个外壳内,执行特定电路或系统功能的集成块。
B、集成度是指在每个芯片中包含的元器件的数目。
C、特征尺寸是代表工艺光刻条件所能达到的最小栅长(L)尺寸。
2、写出下列英文缩写的全称:IC,MOS,VLSI,SOC,DRC,ERC,LVS,LPE
参考答案:
IC:integratedcircuit;MOS:metaloxidesemiconductor;VLSI:verylargescaleintegration;SOC:systemonchip;DRC:designrulecheck;ERC:electricalrulecheck;LVS:layoutversusschematic;LPE:layoutparameterextraction
3、试述集成电路的几种主要分类方法参考答案:
集成电路的分类方法大致有五种:器件结构类型、集成规模、使用的基片材料、电路功能以及应用领域。根据器件的结构类型,通常将其分为双极集成电路、MOS集成电路和Bi-MOS集成电路。按集成规模可分为:小规模集成电路、中规模集成电路、大规模集成电路、超大规模集成电路、特大规模集成电路和巨大规模集成电路。按基片结构形式,可分为单片集成电路和混合集成电路两大类。按电路的功能将其分为数字集成电路、模拟集成电路和数模混合集成电路。按应用领域划分,集成电路又可分为标准通用集成电路和专用集成电
路。
4、试述“自顶向下”集成电路设计步骤。参考答案:
“自顶向下”的设计步骤中,设计者首先需要进行行为设计以确定芯片的功能;其次进行结构设计;接着是把各子单元转换成逻辑图或电路图;最后将电路图转换成版图,并经各
种验证后以标准版图数据格式输出。
5、比较标准单元法和门阵列法的差异。参考答案:
标准单元方法设计与门阵列法基本的不同点有:(1)在门阵列法中逻辑图是转换成门阵列所具有的单元或宏单元,而标准单元法则转换成标准单元库中所具有的标准单元。(2)门阵列设计时首先要选定某一种门复杂度的基片,因而门阵列的布局和布线是在最大的门数
目、最大的压焊块数目、布线通道的间距都确定的前提下进行的。标准单元法则不同,它的单元数、压焊块数取决于具体设计的要求,而且布线通道的间距是可变的,当市线发生困难时,通道间距可以随时加大,因而布局和布线是在一种不太受约束的条件下进行的。(3)门阵列设计时只需要定制部分掩膜版,而标准单元设计后需要定制所有的各层掩膜版。
6、按规模划分,集成电路的发展已经历了哪几代?参考答案:
按规模,集成电路的发展已经经历了:SSI、MSI、LSI、VLSI、ULSI及GSI。
7、试述集成电路制造中,导体、半导体和绝缘体各起什么作用。参考答案:
导体:(1)构成低值电阻;(2)构成电容元件的极板;(3)构成电感元件的绕线;
(4)构成传输线(微带线和共面波导)的导体结构;(5)与轻掺杂半导体构成肖特基结接触;(6)与重掺杂半导体构成半导体器件的电极的欧姆接触;(7)构成元器件之间的互连;(8)构成与外界焊接用的焊盘。
半导体:(1)制作衬底材料;(2)构成MOS管的源漏区,集成电路中的基本元件就是依据半导体的特性构成。
绝缘体:(1)构成电容的介质;(2)构成MOS(金属-氧化物-半导体)器件的栅绝缘层;
(3)构成元件和互连线之间的横向隔离;(4)构成工艺层面之间的垂直向隔离;(5)构成防止表面机械损伤和化学污染的钝化层。
8、试述半导体特性及其应用。参考答案:
半导体的电导率在10-22S·cm-1~10-14S·cm-1之间,导电性能介于导体与绝缘体之间,半导体的特点是其电导率随外界条件的变化而急剧变化。温度变化、光照,掺入杂质等都能显著改变半导体的导电性能。
半导体的广泛应用:热敏电阻(测温度和自动控制);光敏电阻(自动控制);晶体管;集成电路和超大规模集成电路等。
9、列举两种典型的金属与半导体接触。参考答案:
一种是整流接触,即制成肖特基势垒二极管;另一种是非整流接触,即欧姆接触。
10、解释欧姆型接触和肖特基型接触。参考答案:
半导体表面制作了金属层后,根据金属的种类及半导体掺杂浓度的不同,可形成欧姆
型接触或肖特基型接触。
如果掺杂浓度比较低,金属和半导体结合面形成肖特基型接触。如果掺杂浓度足够高,金属和半导体结合面形成欧姆型接触。
11、试比较p-n结和肖特基结的主要异同点。参考答案:
共同点:由载流子进行电
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