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长度设定仪校准规范

1范围

本规范适用于(0~1000)mm长度设定仪(以下简称设定仪)的校准。

2引用文件

本规范引用下列文献

JJF1059-2012测量不确定度评定与表示

凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本规范;凡是不注日期的引用文

件,其必威体育精装版版本(包括所有的修改单)适用于本规范。

3概述

3.1原理

设定仪是以光栅副(光栅尺和光栅头)作为测量元件,将线位移转换为光电信号,

经过电路处理后以数字形式显示位移量,并且可以简单编程的一种自动化设定仪器。

3.2结构

设定仪结构为卧式结构,由基座、移动座、固定座、外壳和输入键盘等基本构件

组成,结构示意图见图1。

1—基座;2—外壳;3—操作面板;4—移动座;5—外工作面;6—内工作面;7—固定座

图1设定仪结构示意图

3.3用途

设定仪主要用于校对手持内外径长度量具。

1

4计量特性

4.1工作面对移动座移动轴线的垂直度不大于3′。

4.2设定仪工作面的平面度不大于0.3μm。

4.3固定座两工作面平行度和移动座两工作面平行度不大于1μm。

4.4设定仪在起始参考位置时两外工作面的平行度不大于1μm。

4.5移动座沿导轨移动的角偏摆(俯仰不大于10″,偏摆不大于20″)。

4.6设定仪起始参考位置的最大允许误差±1.5μm。

4.7设定仪移动座定位的重复性不大于0.4μm。

4.8设定仪示值最大允许误差±(1.5+L/300)μm(L距离单位:mm)。

5校准条件

5.1环境条件

5.1.1温度:(20±1)℃,温度变化:不大于0.5ºC/h。

5.1.2湿度≤60%RH。

5.1.3仪器室内周围应无影响测量的灰尘、噪音、气流、腐蚀性气体和较强磁场。

5.1.4校准前应先将仪器调平。

5.2测量标准及其他设备

校准用的标准器及配套设备(见表1)

表1校准用的标准器及配套设备

序号校准项目主要校准设备

工作面对移动座移动轴线的(70×70)mm四方体(角度偏差±5″)和分度值1″自

1

垂直度准直仪及杠杆千分表

2设定仪工作面的平面度2级平晶

固定座两工作面平行度和移重复性小于0.3μm测量范围(0-25)mm和(25-50)mm

3

动座两工作面平行度的杠杆千分尺。

设定仪在起始参考位置时两

4

外工作面的平行度分度值1″自准直仪或其它符合要求的角度测量器具

5移动座沿导轨移动的角偏摆

设定仪起始参考位置的最大重复性小于0.3μm测量范围(0-25)mm和(25-50)mm

6

允许误差杠杆千分尺和3等(30mm,20mm,9mm,1.1mm)量块

7-6

设定仪移动座定位的重复性0.5×10L激光干涉仪

8-6

设定仪示值最大允许误差0.5×10L激光干涉仪

2

6校准项目和校准方法

6.1外观

目力观察设定仪的外观,确认仪器工作台表面没有毛刺和划痕,有制造厂名(或

商标)和出厂编号等标识。对使用中和修理后的仪器,允许有不影响使用的外观缺陷。

各部分功能正常。

6.2工作面对移动座移动轴线的垂直度

6.2.1在移动座外工作面上研合一块5mm的钢制三等量块,调整自准直仪照准量块工

作面并对准垂直方向读数得读数值a,设定仪移动座上放置四方体,调整其上工作

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