【英语版】国际标准 ISO 20341:2003 EN 表面化学分析 二次离子质谱法 利用多种三角层参考材料估算深度分辨率参数的方法 Surface chemical analysis — Secondary-ion mass spectrometry — Method for estimating depth resolution parameters with multiple delta-layer reference materials.pdf

ISO20341是关于表面化学分析的国际标准，这个标准详细地介绍了使用二次离子质谱法(SIMS)对样品进行化学分析的过程。SIMS是一种高端的微区化学分析技术，它可以给出元素、同位素及表面化学形态的图像信息。在2003年的版本中，该标准提供了关于如何使用多重层参考材料来估计深度分辨率参数的方法。

深度分辨率参数是SIMS分析中非常重要的参数，它描述了分析仪器的分辨率，即能够区分两个深度不同的区域的能力。多重层参考材料是一种特殊的材料，它被用来建立与实际样品表面之间的化学映射关系。通过比较分析样品和多重层参考材料的SIMS谱图，可以获得样品的深度分辨率参数。

具体来说，ISO20341标准提供了以下步骤来估计深度分辨率参数：

1.准备多重层参考材料样品：选择适当的参考材料，并将其制备成多层样品。每一层都代表一个特定的深度区域，这个区域对应于分析样品中的某一深度区域。

2.分析多重层参考材料：使用SIMS仪器对多重层参考材料进行表征和分析，获取其SIMS谱图。

3.分析分析样品：使用SIMS仪器对分析样品进行分析，获取其SIMS谱图。通过比较分析样品和多重层参考材料的谱图，可以找到样品中与参考材料具有相似化学组成但深度不同的区域。

4.估计深度分辨率参数：根据获得的谱图数据，通过数学模型来估计深度分辨率参数。这个模型通常基于多级分辨率的概念，即当分析仪器的分辨率达到一定程度时，能够区分两个深度不同的区域。

ISO20341标准提供了一种精确和可靠的方法来估计SIMS分析的深度分辨率参数。这种方法需要适当的准备和操作，以确保获得准确的结果。对于需要精确测量表面化学成分和深度分布的研究人员和工程师来说，这个标准是非常有用的。