压阻式传感器的工作原理讲解.ppt

压阻式传感器压阻式传感器的工作原理一、由前述可知，压阻效应的数学描述可用公式表示如下：（3-25）式中，π是压阻系数，是表征固态材料压阻效应的特性参数。不同材料的压阻系数不同，而且各向异性的同一材料在不同方向其压阻系数也各不相同，所以有（3-26）式中，σr、σt分别为纵向应力和横向应力（切向应力）；πr为纵向压阻系数，反映由纵向应力引起的纵向电阻的变化率；πt为横向压阻系数，反映由横向应力引起的横向电阻的变化率，大小由所扩散电阻的晶向来决定。压阻式传感器硅压阻式传感器是典型的物性型传感器，它的结构特点是敏感元件由弹性体和转换元件合为一体。这种传感器的灵敏度高（比金属应变计高50~80倍）、分辨力高，动态响应好，因无须胶接而滞迟、蠕变、老化现象小，便于生产，成本低。