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1.3提高传感器性能的技术途径1.采用线性化技术2.采用闭环技术3.采用补偿和校正技术4.采用差动技术
1.3提高传感器性能的技术途径线性化技术要保证传感器的输出能够不失真地复现被测量,要求传感器的输出与输入必须具有线性关系,而实际的传感器特性或多或少都具有不同程度的非线性,这就要求在设计和制造传感器时对其输出输入特性进行必要的线性化处理,以提高和改善传感器的性能。如在一定条件下忽略某些高次项,或者以直线代替曲线等。
1.3提高传感器性能的技术途径闭环技术当要求测试系统具有大的动态范围、高的灵敏度、分辨力与精度,以及优良的稳定性、重复性和可靠性时,开环测试系统往往不能满足要求,但是利用电子技术和自动控制理论中的闭环反馈控制理论,采用传感器、放大电路等组成的闭环反馈测量控制系统,可以有效地改善测量精度和控制系统的性能。现多采用具有深度负反馈的力平衡方式,这里被测力与反馈力对于高灵敏检测元件相平衡(有微量差)。闭环式传感器在过程参数检测传感器技术中被广泛采用,在微机械电容加速度传感器中常使用静电力平衡的方法。
1.3提高传感器性能的技术途径补偿和校正技术在传感器产生误差的规律比较复杂时,可以找出误差的方向和数值,采用修正的方法(包括修正曲线或公式)加以补偿或校正。例如,传感器存在非线性.可以先测出其特性曲线,然后加以校正;又如存在温度误差,可在不同温度进行多次测量,找出温度对测量值影响的规律,然后在实际测量时进行补偿。补偿与校正,可以利用电子技术通过线路(硬件)来解决;也可以采用微型计算机(通常采用单片微机)通过软件来实现。在测量电路中设置一个或多个基准信号元,通过测量信号与基准信号的切换比较,可以实现自(动)校正的目的。
1.3提高传感器性能的技术途径差动技术在使用传感器时,通常要求传感器输出—输入关系成线性,但实际难于做到。如果输入量变化范围不大,而且非线性项的方次不高时,在对多项式进行分析后,找到了一种切实可行的减小非线性的方法——差动技术。这种技术也已广泛用于消除或减小由于结构原因引起的共模误差(如温度误差)方面。
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