超精密与纳米加工技术讲解.ppt

LOGOLOGOLOGOLOGO超精密与纳米加工技术超精密与纳米加工技术

概述超精密加工范畴新兴的纳米加工技术超精细加工技术概述超精密加工技术是适应现代技术发展的一种机械加工新工艺，综合应用了机械技术发展的的新成果及现代电子技术测量技术和计算机技术中先进的控制测试手段等，使机械加工的精度得到进一步提高，使加工的极限精度向纳米和亚纳米精度发展。——————————超精细加工技术概述超精密加工技术室衡量哟个国家先进制造技术水平的重要指标之一，是先进制造技术的基础和关键。当代的机密工程微细工程和纳米技术是现代制造技术的前沿,也是明天技术的基础.目前,在工业发达的国家中,一般工厂能稳定的加工精度是1μm。——————————超精细加工技术概述提高制造精度后可提高产品的性能和质量，提高其稳定性和可靠性；促进产品的小型化；增强零件的互换性，提高装配生产率，并促进自动化装配。——————————超精密加工技术的重要性超精细加工技术概述超精密技工技术在尖端产品和现代化武器的制造中占有非常重要的地位。例如：对于导弹来说，具有决定意义的是导弹的命中精度，而命中精度是由惯性仪表的精度所决定的。制造惯性仪表，需要有超精密技工技术和相应的设备。——————————超精密加工技术的重要性超精细加工技术概述——————————超精密加工技术的重要性超精细加工技术概述——————————超精密加工技术的重要性超精细加工技术概述从上所述，可以看出只有采用超精密加工技术才能制造精密陀螺仪精密雷达超小型电子计算机及其他尖端产品。——————————超精密加工技术的重要性超精密加工范畴在过去相当的一段时期，精密加工，特别是超精密加工的应用范围很狭窄。进十年来，随着科学技术和人们生活水平的提高，超精密加工不仅进入了国民经济和人民生活的各个领域，而且从单件小批生产方式走向大批量的产品生产。——————————超精密加工范畴超精密加工目前包含三个领域：1）超精密切削，如超精密金刚石刀具切削，可加工各种镜面，他成功滴解决了高精度陀螺仪，激光反射和某些大型反射镜的加工。2）超精密磨削研磨，例如解决了大规模集成电路基片的加工和高精度硬磁盘等得加工。3）超精密特种加工，如电子束，离子束加工，美国超大规模集成电路线宽达到0.1μm。——————————纳米加工技术概述目前，纳米加工技术已成为国家科学技术发展水平的重要标志。随着各种新型功能陶瓷材料的不断研制成功，以及用这些材料作为关键元件的各类装置的高性能化，要求功能陶瓷元件的加工精度达到纳米级甚至更高，这些都有力地促进了纳米加工技术的进步。近年来，纳米技术的出现促使纳米加工向其极限加工精度—原子级加工进行挑战。——————————纳米加工技术概述纳米级精度的加工和纳米级表层的加工，即原子和分子的去除、搬迁和重组是纳米技术主要内容之一。纳米加工技术担负着支持必威体育精装版科学技术步的重要使命。国防战略发展的需要和纳米级精度产品高利润市场的吸引，促使了纳米加工技术产生并迅速发展。——————————纳米加工技术概述例如，现代武器惯导仪表的精密陀螺、激光核聚变反射镜、大型天体望远镜反射镜和多面棱镜、大规模集成电路硅片、计算机磁盘及复印机磁鼓等都需要进行纳米级加工。纳米加工技术的发展也促进了机械、电子、半导体、光学、传感器和测量技术以及材料科学的发展。——————————新兴的纳米加工技术1）利用扫描隧道显微镜和原子力显微镜的纳米加工技术——————————LOGOLOGOLOGOLOGO