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-电子工业毫用设备趋势与展望
MEMS技术现状与发展前景
谷雨
(美国加洲大学洛杉矶分校，洛杉矶)
摘要：介绍了微电子机械系统(MEMS)技术的发展现状、加工工艺及产品市场。结合MEMS材
料与加工技术，讨论了MEMS产品的封装技术及存在的问题，展望了MEMS技术的发展前景。
关键词：微电子机械系统；代工厂；MEMS工艺；MEMS封装技术
中图分类号：TN305文献标识码：A文章编号：1004．4507(2013)08．0001—09
MEMSTechnologyStatusandDevelopmentProspects
GUYu
(UniversityofCalifornia，LosAngeles，USA)
Abstract：Thedevelopmentstatus，processingtechnologiesandproductmarketsofMicroElectro
MechanicalSystems(MEMS)technologyareintroduced．Thepackagingtechnologyandexisting
problemsofMEMSproductaremainlydiscussed，combiningtheMEMSmaterialsandprocessing
techniques，andthedevelopmentprospectsofMEMStechnoloygareprospected．
Keywords：MEMS(MicroElecrtoMechanicalSystems)；Foundries；MEMSprocess；MEMSpackaging
technologies
MEMS是由半导体制造技术发展而来，采用械元件(如传感器、制动器等)与电子电路集成在
类似集成电路技术制造的微型器件或系统。它的同一颗芯片上的半导体技术。一般芯片只是利用
起源可追溯到20世纪50年代，人们发现半导体了硅半导体的电气特性，而MEMS则结合了芯片
Si的压阻效应后开始了对si传感器的研究工作。的电气和机械可动结构两种特性，在微小尺度上
到1987年，冯龙生等人研制出可动的硅微型静电实现了与外界电、热、光、声、磁信号的相互作用。
电机，使人类从传感器研究转向真正的MEMS研MEMS是多学科交叉的前沿研究领域，它涉及微
究，引起了世界各国政府的高度关注，也掀开了电子技术、机械技术、材料科学与技术、自动控制
MEMS领域的科技创新高潮。技术、生物技术、物理与化学等学科与技术。
微机电系统是精细加工的一种，它是建立在总体来讲，MEMS大致经历了三轮商业化浪
微米／纳米技术(micro／nanotechnology)基础上的潮。第一轮商业化浪潮始于20世纪70年代末，通
2l世纪前沿技术，MEMS本质上是一种把微型机过大型蚀刻硅片结构和背蚀刻膜片制作压力传感
收稿日期：2013．07．02
趋势与展望电子工业毫用设备-
器，借助压电效应将压力转换成电信号。第二轮商领域，使军队能够更广泛、更快速、更准确地收集
业化浪潮出现在20世纪90年代，此时，信息技术并处理军事信息情报，使军事武器更加灵敏、更加
已经兴起，MEMS红外探测、si加速度计、数字微精确且更有杀伤力。
镜、射频MEMS、生物MEMS等
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