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摘要
摘要
随着现代微电子信息技术的创新,电子设备及电子元器件对微型化、集成化、高
频化和高可靠性的要求不断提高。低温共烧陶瓷(LTCC)作为无源集成的主流技术,
具有集成度高、体积小、介质损耗小、高频特性优良等优点,契合电子制造业小型化、
[1]
集成化、高频化的发展方向,在
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