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TPS烧结炉操作说明

1．开启前打算

（1）检查冷却水塔是否开启

冷却水开启步骤：电源开关ON→冷却水塔ON→制冷ON冷夜泵ON

（2）检查压缩空气

压缩空气限制在60Psi。

2．开启电源

打开烧结炉总电源，电源开启后，MainPower灯亮。按下“PowerON”烧结炉网带起先

运动。

按下电脑的电源开关，电脑开启后，在桌面上点击“furnace”，打开操作软件。

3．登陆操作系统

打开操作软件后，点击进入登陆界面，选中，跳出对话框，在

对话框中输入密码，用户登陆胜利。

退出系统时，点击，退出用户。

4．选择工艺参数

点击进入界面，选中所需的工艺参数，执行。

※工艺参数的调取保存方法

调取：

从硬盘存档中调用：选中，会打开文档，然后选择须要的工

艺参数设定。

从当前工艺调取：选中，界面显示当前工艺参数的设定。

保存:

将界面下的参数设定保存：选中

※工艺参数的修改和执行

两种方式：①干脆在当前工艺下修改

在界面上，选中须要修改的工艺参数，会弹出设定对话框，键入所改的值，

点击OK。（若不做修改，点击Cancel）

②在界面修改

Recipe修改方法：选中须要修改的温区，在相应的温区修改温度和上下功率值。（上功

率为上限值，下功率是实际值。）▲留意：在修改完毕后，要选择，修

改的参数才会执行。或者在修改时，点击，可干脆修改到当前工艺。

5．烧结炉升温

工艺选定后，选中warmup，烧结炉起先升温。

★为了延长烧结灯管的寿命，避开在刚开启加热时过大电流损坏加热灯管，zone8zone9

采纳逐步加热的方式。留意：在刚起先加热时，zone8zone9两区的上下功率不行过高。

两区上下功率手动设置升温。当温度升到位后，将下功率渐渐降到设定值。当温度加热

到位后，状态栏变成蓝色，此时表明烧结炉达到稳定状态，可以进行烧结工

艺。

（留意：状态栏表示工艺状态，当出现条形时，表示未达到稳定状态，不行进行烧结。

若要进行工艺修改，不行往炉中投片，工艺修改待烧结条件稳定一段时间后，方可进行

烧结工艺。）

6．关闭烧结炉

a.选中，烧结炉起先降温

b.温度降到100℃左右，可关闭设备，压缩空气接着通半个小时左右。

温度降到100℃后，可以退出操作软件。进入界面，点击，退出

用户操作，再选中右上角，退出软件。然后关机。

C．按下炉外侧的Poweroff，再将烧结炉总电源关闭。

留意：在高温的状况下，不行干脆关闭烧结炉电源。若按下了急停，应清除按下的缘由

后，即可按下“PowerOn”开启电源，避开高温区内高温对网带的损坏。

报警处理：

A．灯管的损坏；烧结炉的灯管无需做保养，若损坏干脆更换。灯管损坏，

会出现高亮，并且有报警声出现。操作人员先关闭消音（确认报警）。界

面会显示哪个区的灯管损坏了，在Description描述窗口显示LampFailZone□。然

后打开，检查该区灯管的详细位置，留意显示的是一组灯管（两根），用

万用表测量灯管的两端，查出损坏的灯管，进行更换。

灯管的更换留意事项：灯管更换时，操作人员要带上橡胶手套，不行干脆用手接

石英灯管（油脂对石英灯管的损坏非常严峻），若接触用无水酒精擦拭灯管后安装。

B．冷却水报警：检查冷却