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集成电路用化学品评估报告.docx

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    集成电路用化学品评估报告

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    集成电路用化学品评估报告

    目录

    TOC\o1-9前言 3

    一、集成电路用化学品项目概论 3

    (一)、集成电路用化学品项目名称及投资人 3

    (二)、编制原则 3

    (三)、编制依据 4

    (四)、编制范围及内容 4

    (五)、集成电路用化学品项目建设背景 6

    (六)、结论分析 7

    二、环保分析 9

    (一)、建设期环境影响 9

    (二)、营运期环境评价 10

    (三)、环境管理与控制 12

    (四)、环境改善与建议 14

    三、工艺技术分析 16

    (一)、企业技术研发分析 16

    (二)、集成电路用化学品项目技术工艺

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