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光刻机行业深度报告:博采众星之光,点亮皇冠明珠.pdf

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证券研究报告|行业深度报告

电子

行业评级强于大市(维持评级)

2023年11月23日

博采众星之光,点亮皇冠明珠

——光刻机行业深度报告

证券分析师杨钟

执业证书编号:S0210522110003

邮箱:yz3979@

请务必阅读报告末页的重要声明

投资要点

Ø集成电路的工序之复杂与精细堪称人类工业文明的皇冠,而光刻机则是这个皇冠上的明珠。

•随着半导体产业不断迭代,其加工工艺亦面临重重挑战。而在芯片生产过程中最大的挑战之一,即是光刻工艺,其决定了芯片晶体管尺寸的大小,从而直接

影响芯片性能和功耗。作为光刻技术的关键设备,光刻机单台价值量高达上亿美元,其购置成本达到半导体设备总投资的20%以上,是芯片制造前道工艺七

大设备之首。

•光刻机之复杂程度堪称人类科技之巅。一方面,光刻机制造是多学科交织的极其复杂的工程,其研发集成了精密光学、精密运动学、高精度微环境控制、算

法、微电子、高精度测控等多学科全球最顶尖工程师和科学家的智慧。另一方面,光刻机是一整套完整的纳米工业体系,要产出纳米级精度的芯片,需要其

背后的光源系统、光学镜头系统、精密运动和环境控制系统、测量系统、聚焦系统、对准系统等模块全部达到纳米级精度,并且高度集成和协同,每一个子

系统的技术迭代成果均蕴含了该领域最前沿的高精尖技术。毫不夸张地说,光刻机是人类工业文明的巅峰之作,是现代工业体系皇冠上的明珠。

Ø光刻机这颗璀璨的明珠是ASML博采众家之长和持续高强度战略投入的结晶。

•自上世纪80年代起,围绕着光刻机分辨率、套刻精度、生产效率等关键要素的提升,一批光刻机制造商相继展开角逐。而ASML凭借双工件台、浸没式技术

和EUV的里程碑式重大突破,一步步将光刻工艺推向新的高度。当前,ASML独占全球中高端光刻设备出货量的95%,成为当之无愧的全球光刻设备霸主。

•综观ASML崛起的历史,其之所以能用30年时间建立极高的壁垒,离不开其高强度投入和供应链整合。一方面,ASML极为重视技术更新迭代,一直投入大量

资金,并最终转化为技术护城河。ASML研发支出多年持续上涨,2022年研发支出已达到241.50亿元。另一方面,ASML利用已有的制造业产业链打造自己

的生态体系。在上游端,ASML通过收购与投资40余家产业链核心优质公司以占据技术制高点;在下游端,ASML与英特尔、台积电和三星等巨头开展深度合

作,举众多半导体龙头企业之力推动其光刻机的迭代出新。

Ø景气周期自主可控驱动成长,国内厂商逢山开道砥砺前行。

•据SIA数据显示,2023年9月全球半导体销售额环比增长1.9%,至此,全球半导体销售额已实现连续七个月的环比增长,半导体景气回升或已接近破晓时分。

与此同时,AI芯片、高性能计算、汽车等领域的强劲需求持续推动半导体资本开支的增长,SEMI指出,自2024年起全球前端的300mm晶圆厂设备支出将恢

复增长,预计2024年增长12%至820亿美元,2025年增长24%至1019亿美元,并在2026年达到1188亿美元的历史新高。鉴于光刻机产业链极高的技术壁垒

,以及不可或缺的产业地位,在海外对华先进技术严密管控的当下,该领域的自主可控具有十分紧迫的战略价值。

•工欲善其事,必先利其器。虽然起步较晚,且基础薄弱,但国内光刻机产业链从业者正在积极追赶,补足短板,并在相关零部件、光学部件、激光器件、双

工件台、掩膜版等领域取得一定进展。假以时日,随着国内半导体产业链上下游协同攻关,产业政策积极引导,以及多方资本有力加持,国产光刻机及相关

供应链有望顺利扬帆,并为科技信息产业发展保驾护航。

Ø投资建议:建议关注光刻机产业链整机及相关零部件公司,包括:上海微电子(未上市)、华卓精科(未上市)、科益虹源(未上市)、苏大维格、晶方科

技、新莱应材、腾景科技、茂莱光学、炬光科技、福晶科技、福光股份、美埃科技、清溢光电、路维光电、芯碁微装。

Ø风险提

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