半导体设备行业系列报告之五:国产刻蚀设备领军,先进工艺突破驱动持续成长.pdfVIP

半导体设备行业系列报告之五:国产刻蚀设备领军,先进工艺突破驱动持续成长.pdf

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电子

公2023年06月20日

司中微公司(688012)

/——半导体设备行业系列报告之五:国产刻蚀设备领军,

司先进工艺突破驱动持续成长

报告原因:首次覆盖

买入(首次评级)投资要点:

证⚫国内半导体刻蚀设备龙头,高研发投入持续加强壁垒。公司以CCP刻蚀设备起家,后逐步

研发推出MOCVD设备、ICP刻蚀设备等产品,当前刻蚀设备已实现5nm工艺节点量产。

究市场数据:2023年06月19日公司合同负债及存货规模近2年均大幅扩张,在手订单充足。2022年公司合计研发投入

报收盘价(元)168.8营收占比19.6%显著超越行业平均,研发人员占比超4成,近4年3轮全员股票激励计划

告一年内最高/最低(元)199.81/76.7

保证团队稳定性与积极性。

市净率6.6

息率(分红/股价)-⚫刻蚀设备市场空间巨大,中微ICP设备快速放量进一步巩固龙头地位。2022年全球半导

流通A股市值(百万元)104352

体设备市场中刻蚀设备占比约为22%,是占比最高的设备环节,其中CCP与ICP刻蚀设

上证指数/深证成指3255.81/11274.05

备市场规模相近;伴随先进制程采用多重曝光技术、存储器逐步转向3D结构,集成电路

注:“息率”以最近一年已公布分红计算

制造对刻蚀设备数量及性能需求大幅提升。中微公司CCP刻蚀设备在国内厂商中市占率大

幅领先,ICP刻蚀设备核心产品2022年出货量为297台,同比增长77%,较2020年增

基础数据:2023年03月31日

长461%,市占率有望追赶中微CCP设备。

每股净资产(元)25.66

资产负债率%21.98

⚫推进极高深宽比、大马士革刻蚀工艺研发,开拓薄膜沉积设备新领域。公司已完成60:1

总股本/流通A股(百万)618/618

深宽比刻蚀设备研发,新机型已获得下游客户认可,预计将尽快投入量产,预将提升存储

流通B股/H股(百万)-/-

等国内下游客户订单份额;同时公司将推出一体化大马士革工艺刻蚀设备,是刻蚀设备领

一年内股价与大盘对比走势:域技术壁垒最高、市场最大的领域之一,此前由日本厂商垄断;另一方面,公司2Q23发

布LPCVD新产品,后续预将推出EPI、ALD设备,薄膜沉积设备有望形成新成长极。

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