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版本:V01.00
2022-09-16发布2022-09-16实施
第三代半导体产业技术创新战略联盟发布
T/CASAS005-2022
目次
前言·············…………....…………..……………··.....”…....…………....…………....………….......III
I范围…………………··.....”…....…………....…………....………….........I
2规范性引用文件.............I
3术语和定义·················……………··…………...…...…...…...….................………..I
4原理..............2
5测试条件······················….……··…………………·………...............................................3
7测试程序................................………··……..4
7.2测试流程…………………·.......”................…...…...…...…...…··…........5
8数据记录和l处理.............6
9试验报告·····································….......….......….......….......…·”………......
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