GB 51401-2019 电子工业废气处理工程设计标准.docxVIP

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中华人民共和国国家标准

PGB51401-2019

电子工业废气处理工程设计标准

Standardfordesignofelectronicindustryemissionstreatmentengineering

2019-11-22发布2020-04-01实施

中华人民共和国住房和城乡建设部国家市场监督管理总局

联合发布

中华人民共和国国家标准

电子工业废气处理工程设计标准

Standardfordesignofelectronicindustryemissionstreatmentengineering

GB51401-2019

主编部门：中华人民共和国工业和信息化部批准部门：中华人民共和国住房和城乡建设部施行日期：2020年4月1日

2019北京

中华人民共和国住房和城乡建设部公告2019年第321号

住房和城乡建设部关于发布国家标准《电子工业废气处理工程设计标准》的公告

现批准《电子工业废气处理工程设计标准》为国家标准，编号为GB51401—2019,自2020年4月1日起实施。其中，第3.0.3、

3.0.6(1)、3.0.8、3.0.10、3.0.17条(款)为强制性条文，必须严格执行。

中华人民共和国住房和城乡建设部2019年11月22日

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前言

本标准是根据住房和城乡建设部《关于印发2013年工程建设标准规范制订、修订计划的通知》建标〔2013〕6号的要求，由工业和信息化部电子工业标准化研究院、中国电子工程设计院有限公司会同有关单位共同编制完成。

在标准编制过程中，编写组根据我国的集成电路(IC)、薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)以及新型有机发光显示器(OLED)为代表的电子工厂生产过程中使用的化学品种类及废气污染因子排放的实际情况，进行了广泛的调查研究，收集了有关电子工厂废气污染因子的种类和设计处理要求，认真总结实践经验，同时考虑我国目前生产的现状，参考国外有关的规范标准，广泛征求了全国有关单位与个人意见，最后经审查定稿。

本标准的主要技术内容是：总则、术语、基本规定、工艺及工艺设备、碱性废气系统、酸性废气系统、挥发性有机物废气系统、特种废气系统、除尘系统、电子玻璃窑炉废气系统、事故通风、电气设计等。

本标准中以黑体字标志的条文为强制性条文，必须严格执行。

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目次

1总则 (1)

2术语 (2)

3基本规定 (5)

4工艺及工艺设备 (12)

4.1一般规定 (12)

4.2污染物控制 (12)

4.3应急设施 (12)

5碱性废气系统 (14)

5.1一般规定 (14)

5.2处理流程和方法 (14)

5.3处理设备 (14)

5.4风管及附件 (16)

6酸性废气系统 (17)

6.1一般规定 (17)

6.2氮氧化物、高浓度酸及电镀废气 (17)

7挥发性有机物废气系统 (19)

7.1一般规定 (19)

7.2废气收集、排风管道系统 (20)

7.3处理系统 (20)

7.4处理设备 (22)

7.5自动控制及安全措施 (24)

8特种废气系统 (26)

8.1一般规定 (26)

8.2烷类尾气处理系统 (26)

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8.3全氟化合物(PFC)尾气处理系统 (27)

8.4其他特种尾气处理系统 (28)

8.5中央废气处理系统 (28)

9除尘系统 (30)

9.1一般规定 (30)

9.2系统设计、处理流程及方法 (30)

9.3处理设备 (32)

9.4风管及附件 (33)

10电子玻璃窑炉废气系统 (36)

10.1一般规定 (36)

10.2系统设计、处理流程及方法