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ICS31.260
CCS
L50
团体标准
T/YGAZXHXXXX—2024
铌酸锂晶圆内部脉理条纹观测及分级方法
Theobservationandclassificationmethodforinternalstriationsoflithiumniobate
crystalwafers
（征求意见稿）
（本草案完成时间：2024.08.01）
在提交反馈意见时，请将您知道的相关专利连同支持性文件一并附上。
2024-XX-XX发布2024-XX-XX实施
广东省粤港澳大湾区战略性新兴产业发展促进会发布
T/YGAZXHXXXX—2024
目次
前言II
1范围1
2规范性引用文件1
3术语和定义1
4观测原理1
5仪器设备1
6观测条件1
环境条件1
摄影条件2
7观测方法2
样品制备2
观测步骤
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