超洁净磁悬浮泵-征求意见稿.docx

1

T/CHPSAYY003—2024/T/CMES24019—2024

超洁净磁悬浮泵

1范围

本文件规定了超洁净磁悬浮泵的型号、要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。

本文件适用于半导体制程用超洁净磁悬浮泵。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T2900.1电工术语基础术语GB/T2900.25电工术语旋转电机

GB/T3216-2016回转动力泵水力性能验收试验1级、2级和3级

GB/T3505产品几何技术规范（GPS）表面结构轮廓法术语定义及表面结构参数

GB/T7021离心泵名词术语GB/T11446.1电子级水

GB/T11446.8电子级水中有机碳的测试方法

GB/T25915.1洁净室及相关受控环境第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级GB/T29845-2013半导体制造设备的最终装配、包装、运输、拆包及安放导则

GB/T33634液体泵安全要求液体静压试验GB/T34672化学试剂离子色谱法测定通则

GB/T39486化学试剂电感耦合等离子体质谱分析方法通则JJG821总有机碳分析仪检定规程

3术语和定义

GB/T2900.1、GB/T2900.25及GB/T7021界定的以及下列术语和定义适用于本文件。3.1

超洁净磁悬浮泵ultra-cleanmagneticlevitationpump

利用电磁力将内嵌永磁体的叶轮悬浮于泵腔内，并驱动叶轮以非接触式电磁轴承方式旋转，过流部件使用聚四氟乙烯（简称PTFE）或超纯可熔性聚四氟乙烯（简称PFA）材质制造，实现超洁净流体泵送的超洁净离心泵。

注：“超洁净”或“超纯”系指泵过流部件污染物指标应符合附录A要求。

2

T/CHPSAYY003—2024/T/CMES24019—2024

3.2

超纯水ultrapurewater（UPW）

经净化处理，25℃时在线电阻率大于等于18.2MΩ.cm，在线TOC小于1μg/L，细菌小于等于1个/100ml，在线溶解氧小于等于10μg/L，金属Fe、Cu、Ni、K、Na合计小于25ng/L（其中Fe小于5ng/L），其余金属小于10ng/L，其他指标符合GB/T11446.1中EW-1要求的水。

3.3

泵头pumphead

由泵体、叶轮、泵盖等组成的组件。3.4

悬浮绕组suspendingwinding

对叶轮施加电磁力，使叶轮稳定悬浮于泵腔中的绕组。3.5

驱动绕组drivewinding

在驱动工况下，当外部电能输入端子时，将输入电能转换成磁能并转换为机械能提供驱动力的绕组。

3.6

表面粗糙度surfaceroughnessRa

加工表面具有的波距1mm以下和微小峰谷的不平度，属于微观几何形状误差。工程上常用轮廓算数平均偏差Ra表征表面微观不平度。

［来源：GB/T3505，有修改］

3.7

过流部件wetcomponents

设备或系统运行时与输送介质接触的零部件。

4泵结构、型号及参数

4.1泵结构

超洁净磁悬浮泵结构见图1，泵由电机、泵头和控制器系统（见图2、图3）组成。电机由定子铁芯、驱动绕组、悬浮绕组、传感器及电机壳体等组成，泵头由泵体、带有永磁体的叶轮、泵盖等组成，控制器系统由控制器及其附属元器件等构成。

3

T/CHPSAYY003—2024/T/CMES24019—2024

图1超洁净磁悬浮泵结构图

图2超洁净磁悬浮泵组成示意图（带标准版控制器）

图3超洁净磁悬浮泵组成示意图（带扩展版控制器）

4.2型号

4

T/CHPSAYY003—2024/T/CMES24019—2024

第一栏

系列名称代号

第二栏最大功率

第三栏产品版本

第四栏

控制器版本

第五栏冷却方式

第六栏

进出口连接方式

示例：MLP2000HPEAP

超洁净磁悬浮泵系列名称为MLP，额定功率为2000W,产品版本为HP(高压版本)，控制器版本为E（扩展版），冷却方式为A（压缩空气冷却），进出口连接方式为P（入珠式）。

注：以上超洁净磁悬浮泵型号标识的格式供参照，各生产商可