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铌酸锂晶圆内部脉理条纹观测及分级方法
1范围
本文件描述了采用纹影法对铌酸锂晶圆内部脉理条纹进行观测及分级的方法。
本文件适用于铌酸锂晶圆内部脉理条纹的观测及分级。
2规范性引用文件
本文件没有规范性引用文件。
3术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
铌酸锂晶圆lithiumniobatecrystalwafer
由铌酸锂单晶棒经过切割、磨削和抛光等工艺制成的圆形薄片。
脉理条纹striation
在铌酸锂单晶内部呈现树根条状，且具有一定走向规律的结晶缺陷。
4观测原理
采用纹影法对铌酸锂晶圆内部脉理条纹进行观测及分级。其基本原理是利用光在被测流场中折射
率梯度正比于流场气流密度的原理，将流场中密度梯度的变化转变为记录平面上相对光强的变化，从而
使可压缩流场内的激波和压缩波等密度变化显著区域形成可观测和可区分的图像，并将其记录。
5仪器设备
观测所需的仪器设备见表1。
表1观测所需的仪器设备及参数指标
序号仪器设备参数指标
1卤素灯额定电压为12V；额定功率为5W
2相机像素为500万
3透镜—
4反射镜—
5半透反射镜—
6观测条件
环境条件
观测应处于无振动、无空气流动的环境中进行，并符合以下规定：
a)温度：22℃～28℃；
1
b)相对湿度：45%～70%；
c)气压：86kPa～106kPa。
摄影条件
在观测前应通过自动聚焦或手动聚焦将相机调整到聚焦状态。
7观测方法
样品制备
被测铌酸锂晶圆的制备应符合以下规定：
a)双面的粗糙度应小于5nm；
b)表面应洁净无沾污。
观测步骤
7.2.1观测光路示意图见图1。
标引序号说明：
1——光源；
2、3、5——透镜；
4——反射镜；
6——相机；
7——样品台及待测样品；
8——半透半反镜。
图1观测光路示意图
7.2.2观测应按照以下的步骤进行：
a)开启系统电源，预热10min后，打开摄像机和与之连接的电脑软件界面；
b)将铌酸锂晶圆抛光面正对着透镜3的出射光，并放置于样品台上；
c)调节样品台的定位系统，让晶圆上、下、前、后移动；
d)在软件界面的图像上观察，应看到图像显示出平行走向的纹路，纹路随晶圆移动和转动而动。
7.2.3铌酸锂晶圆内部脉理条纹示样见图2和图3。
2
图2
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