《超洁净气动波纹管泵》.docx

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ICS23.020.01

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CCSJ20

团体标准

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超洁净气动波纹管泵

Ultra-cleanPneumaticDriveBellowsPump

求意见稿）

2024-10-01发布

2024-11-01实施

中国液压气动密封件工业协会

中国机械工程学会

发布

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超洁净气动波纹管泵

范围

本文件规定了超洁净气动波纹管泵的基本结构及型号、要求、技术要求以及试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。

本文件适用于半导体制程用超洁净气动波纹管泵。

规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T7784-2018机动往复泵试验方法

GB/T7785往复泵分类和名词术语

GB/T11446.1电子级水

GB/T11446.8电子级水中有机碳的测试方法

GB/T25915.1洁净室及相关受控环境第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级

GB/T29845-2013半导体制造设备的最终装配、包装、运输、拆包及安放导则

GB/T33634液体泵安全要求液体静压试验

GB/T34672化学试剂离子色谱法测定通则

GB/T39486化学试剂电感耦合等离子体质谱分析方法通则

JJG821总有机碳分析仪检定规程

术语和定义

GB/T7785界定的以及下列术语和定义适用于本文件。

超洁净气动波纹管泵ultra-cleanpneumaticdrivebellowspump

也称超洁净气动风囊泵，以压缩气体作为动力源，通过换向阀控制压缩空气依次进入气体腔，驱动波纹管往复运动，使得液体腔交替吸液和排液，实现液体输送的装置，该装置内过流部件均使用超纯PFA（可熔性聚四氟乙烯）、PTFE（聚四氟乙烯）材质制造。

注：本文件中“超洁净”或“超纯”系指部件污染物含量指标符合附录A的要求。

超纯水ultrapurewater（UPW）

经净化处理，25℃时在线电阻率大于等于18.2MΩ.cm，在线TOC小于1μg/L，细菌小于等于1个/100ml，在线溶解氧小于等于10μg/L，金属Fe、Cu、Ni、K、Na合计小于25ng/L（其中Fe小于5ng/L），其余金属小于10ng/L，其他指标符合GB/T11446.1中EW-1要求的水。

冲程速率strokerate

波纹管从一个极限位置运动到另一个极限位置的距离为一个冲程，单位时间的冲程数为冲程速率，用spm（即每分钟冲程数）表示。

最大耗气量maximumairconsumption

在一个标准大气压和20℃环境条件下，泵在最大冲程速率下，单位时间内所需要的最大气体消耗量。

注：耗气量单位为标准升每分钟(NL/min)

供气压力supplyairpressure

驱动泵运行的气体压力。

环境温度ambienttemperature

泵设备运行时周围环境的温度。

过流部件wetcomponents

设备或系统运行时与输送介质接触的零部件。

表面粗糙度surfaceroughness

Ra

加工表面具有的波距1mm以下和微小峰谷的不平度，属于微观几何形状误差。工程上常用轮廓算数平均偏差Ra表征表面微观不平度。

［来源：GB/T3505，有修改］

泵结构、型号及参数

4.1泵结构

本文件中超洁净气动波纹管泵结构如图1所示。

工作原理：

气动波纹管泵由两个气腔和两个液腔组成，两个波纹管将气体腔和液体腔分隔开来。压缩气体交替驱动波纹管往复运动，实现吸液和排液，工作过程中气体腔在波纹管外侧，液体腔在波纹管内侧。气动波纹管泵组成示意图见图2。

注：本文件内容只适合上述结构的波纹管泵。

图1基本结构示意图

图2气动波纹管泵组成示意图

4.2