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ICS31.080.01
CCSL40
中华人民共和国国家标准
GB/T4937.28—XXXX/IEC60749-28:2022
半导体器件机械和气候试验方法
第28部分:静电放电(ESD)敏感度测试
充电模型(CDM)器件级
Semiconductordevices—Mechanicalandclimatetestmethods—Part28:
Electrostaticdischarge(ESD)sensitivitytesting—Chargeddevicemodel(CDM)—
devicelevel
(IEC60749-28:2022,IDT)
(征求意见稿)
2024.6.12
(本草案完成时间:)
在提交反馈意见时,请将您知道的相关专利连同支持性文件一并附上。
XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施
GB/T4937.28—XXXX/IEC60749-28:2022
目次
前言V
引言VII
1范围1
2规范性引用文件1
3术语和定义1
4所需设备2
4.1CDMESD测试机2
4.1.1通用要求2
4.1.2电流传感器元件3
4.1.3地板3
4.1.4场板/场板介质层3
4.1.5充电电阻3
4.2波形测量设备3
4.2.1通用要求3
4.2.2电缆组件3
4.2.3高带宽波形测量设备3
高带宽示波器3
衰减器3
4.2.41.0GHz波形测量设备3
1GHz示波器4
衰减器4
4.3验证模块(金属圆片)4
4.4电容表4
4.5欧姆表4
5测试机定期鉴定、波形记录、波形验证要求4
5.1CDM测试机评价的通用要求4
5.2波形采集硬件4
5.3波形采集设置4
5.4波形采集程序5
5.5CDM测试机的鉴定/重新鉴定程序5
5.5.1CDM测试机的鉴定/重新鉴定程序5
5.5.2需要对CDM测试机鉴定/重新鉴定的情况5
5.5.31GHz示波器与高带宽示波器的相关性5
5.6CDM测试机季度和常规波形验证程序6
5.6.1季度波形验证程序6
I
GB/T4937.28—XXXX/IEC60749-28:2022
5.6.2常规波形验证程序6
通用要求6
常规验证频率6
5.7波形特性6
5.8存档8
5.9CDM测试机对器件完全充电的评价程序8
5.9.1如4.1.5中规定,充电电阻标称值应大于或等于100MΩ。如果标称电阻过大,可能需要增
加一个充电延时使器件完全充电。应根据5.9.2的程序决定是否需要增加延时。8
5.9.2使用大验证模块的步骤如下8
6CDMESD测试要求和程序9
6.1测试机和器件准备9
6
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