GBT-半导体器件 机械和气候试验方法 第28部分：静电放电（ESD）敏感度测试 充电模型（CDM） 器件级.pdf

ICS31.080.01

CCSL40

中华人民共和国国家标准

GB/T4937.28—XXXX/IEC60749-28:2022

半导体器件机械和气候试验方法

第28部分：静电放电(ESD)敏感度测试

充电模型(CDM)器件级

Semiconductordevices—Mechanicalandclimatetestmethods—Part28:

Electrostaticdischarge(ESD)sensitivitytesting—Chargeddevicemodel(CDM)—

devicelevel

(IEC60749-28:2022,IDT)

（征求意见稿）

2024.6.12

（本草案完成时间：）

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XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施

GB/T4937.28—XXXX/IEC60749-28:2022

目次

前言V

引言VII

1范围1

2规范性引用文件1

3术语和定义1

4所需设备2

4.1CDMESD测试机2

4.1.1通用要求2

4.1.2电流传感器元件3

4.1.3地板3

4.1.4场板/场板介质层3

4.1.5充电电阻3

4.2波形测量设备3

4.2.1通用要求3

4.2.2电缆组件3

4.2.3高带宽波形测量设备3

高带宽示波器3

衰减器3

4.2.41.0GHz波形测量设备3

1GHz示波器4

衰减器4

4.3验证模块（金属圆片）4

4.4电容表4

4.5欧姆表4

5测试机定期鉴定、波形记录、波形验证要求4

5.1CDM测试机评价的通用要求4

5.2波形采集硬件4

5.3波形采集设置4

5.4波形采集程序5

5.5CDM测试机的鉴定/重新鉴定程序5

5.5.1CDM测试机的鉴定/重新鉴定程序5

5.5.2需要对CDM测试机鉴定/重新鉴定的情况5

5.5.31GHz示波器与高带宽示波器的相关性5

5.6CDM测试机季度和常规波形验证程序6

5.6.1季度波形验证程序6

I

GB/T4937.28—XXXX/IEC60749-28:2022

5.6.2常规波形验证程序6

通用要求6

常规验证频率6

5.7波形特性6

5.8存档8

5.9CDM测试机对器件完全充电的评价程序8

5.9.1如4.1.5中规定，充电电阻标称值应大于或等于100MΩ。如果标称电阻过大，可能需要增

加一个充电延时使器件完全充电。应根据5.9.2的程序决定是否需要增加延时。8

5.9.2使用大验证模块的步骤如下8

6CDMESD测试要求和程序9

6.1测试机和器件准备9

6