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ITO薄膜的电子束制备工艺设计及制作
摘要
氧化铟锡材料简称ITO,是透明导电氧化物(TransparentConductingFilms简称TCO)薄膜的一种,具备高可见光透过率和低电阻率的优点。目前,广泛应用于发光二极管(LED)、平板显示器(LCD)、太阳能电池、交通工具风挡、晶体管制造等领域。
本实验拟采用QH-250教学实验镀膜机,利用电子束蒸镀工艺制备ITO薄膜,研究了束流大小、蒸发时间、真空度这三种工艺参数对薄膜透光性以及导电性能的影响,设计了电子束制备ITO薄膜的工艺方案,通过对文献中的实验数据分析,论证了实验方案的合理性和可行性,并推测出电子束制
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