表面化学分析 X射线光电子能谱 均匀材料中元素检测限的评估和报告.pdf

表面化学分析X射线光电子能谱均匀材料中元素检测限的评估

和报告

重要提示：涉及人身安全或健康情况下，需要给出，字体为黑体，涉及整个标准的放正文标准名称

之后，或在文中需要的位置。非必须内容，不需要的话就删除。

1范围

本文件规定了在常规分析条件下从特定样本获得的X射线光电子能谱（XPS）数据中评估元素检

测限并给出报告的步骤。本文件适用于均匀材料，对XPS信息深度内元素深度分布不均匀的材料不适

用。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

ISO18115-1，表面化学分析词汇第1部分：通用术语及谱学中的术语

ISO18115-2，表面化学分析词汇第2部分：扫描探针显微镜中的术语

3术语和定义

文件GB/T22461-2008界定的术语和定义适用于本文件。

3.1参考元素

样品中存在的化学元素，其峰面积和相对含量可检测。

3.2指定元素

正在进行检测限计算的化学元素。

4符号和缩略语

Ai元素i的光电子峰总强度，counts或cps（summedintensityofthephotoelectronlineofelementi,

countsorcps）

AC峰总强度检测的临界值，counts或cps（criticallevelofdetectionforapeakinsummedintensity,

countsorcps）

AD在要求的置信区间内检测到的最小峰总强度（minimaldetectablesummedintensityfora

peakattherequiredlevelofconfidence）

5

AMRSF平均基体相对灵敏度因子（averagematrixrelativesensitivityfactor）

αm多项式方程中m阶系数（coefficientsoforderminapolynomialequation）

at.%原子百分浓度（

atomicpercentconcentration）

α电子相对于样品表面法线的平均发射角（averageemissionangleofelectronsrelativetothesurface

normalofthesample）

B(E)描述本底的E的函数，counts或cps（

functionofEdescribingbackground,countsorcps）

BE结合能（

bindingenergy）

b定义本底的谱峰数据点数（numberofdatapointsthatdefinethebackgroundunderapeak）

c在总强度测量中b的数据点数（numberofdatapointsfrombthatareusedinasummedintensity

measurement）

cps每秒计数（

countspersecond）

d指定元素的原子直径（diameteroftheatomsofthespecifiedelement）

δ峰强A的相对不确定度（relativeuncertaintyofpeakintensity,A）

A(x)