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ICS31-550

L95

中华人民共和国国家标准

GB/T37466—2019

氮化镓激光剥离设备

Laserlift-offequipmentusedforGaN

2019-06-04发布2019-10-01实施

国家市场监督管理总局

中国国家标准化管理委员会发布

GB/T37466—2019

前言Ⅲ

1范围1

2规范性引用文件1

3术语和定义1

4产品分类和标记2

4.1分类2

4.2型号标记3

5工作条件4

5.1电源4

5.2环境温度4

5.3相对湿度4

5.4大气压力4

5.5洁净室等级4

5.6电磁干扰4

5.7地基振动要求4

6要求4

6.1外观4

6.2激光要求4

6.3扫描台5

6.4整机性能5

6.5电气要求5

6.6控制装置5

6.7软件要求6

6.8电磁兼容6

6.9噪声6

6.10平均无故障时间6

6.11安全要求6

7检测方法7

7.1外观检查7

7.2激光检查7

7.3扫描台检查8

7.4整机性能检测9

7.5电气检查9

7.6控制装置检查10

7.7软件检测10

7.8电磁兼容试验10

GB/T37466—2019

7.9噪声测试10

7.10平均无故障时间验证10

7.11安全要求检查10

8检验规则11

8.1检验分类11

8.2鉴定检验11

8.3出厂检验11

8.4判定规则11

9标志、包装、运输和贮存12

9.1标志12

9.2包装12

9.3运输13

9.4贮存13

Ⅱ

GB/T37466—2019

前言

本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布

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