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2024年化合物半导体的外延生长设备项目规划设计方案.docx

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    化合物半导体的外延生长设备项目规划设计方案

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    化合物半导体的外延生长设备项目规划设计方案

    目录

    TOC\h\z8761前言 4

    18341一、事故原因分析及事故后果预测 4

    28627(一)、事故案例及原因分析 4

    3431(二)、事故后果预测 5

    5125二、项目选址研究 6

    15627(一)、项目选址原则 6

    14980(二)、项目选址 8

    2795(三)、建设条件分析 10

    26608(四)、用地控制指标 11

    11301(五)、地总体要求 12

    15333(六)、节约用地措施 14

    27898(七

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