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LCD玻璃基板采用UVCLEAN工艺的探讨
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马海军1．朱小娟2
（1．洛阳矿山机械工程设计研究院自动化控制与传动研究所，河南洛阳471039；
2．陕西科技大学电气与信息工程学院，陕西西安710021）
摘要：文章针对采用UVCLEAN降低因玻璃基板清洁度而导致的ACF贴付不良做了探讨，从LCD企业的生产实际出发，找出厂别和ACF型号的影响，在确定条件下通过量产实验得出UVCLEAN作为选择性制程，从清洗方式、选择不同清洗剂到UVCLEAN工艺三大参数（照射时间、照度、照射高度）的影响做了一系列实验，得出对基板清洁度起显著作用的优化设定，从而大大提高ACF贴付良率。
关键词：紫外光清洗：清洁度：接触角：各向异性导电膜
TN141.9
：BDiscussiononLCDGlassSubstratewithUltravioletRaysCleaning
MAHai-junl,ZHUXiao-juan2
(1.InstituteofAutomationandTransmission,LuoyangMiningMachineryEngineering
DesignInstitute,LuoyangHenan471039,China;
2.ElectricalandInformationEngineeringCollege,ShaanxiUniversityofScienceand
Technology,Xiacute;anShaanxi710021,China)
Abstract:ltwasdiscussedthatnon-performingACFcausedbycleanlinessoftheglasssubstratewasloweredfortheuseoftheultravioletrayscleaning.TheinfluenceofplantsandthedifferenttypeofACFwereincludedaccordingtothedataofmanagementproductionline.Undertheexperimentalconditions,theultravioletrayscleaningwasheldupforaselectiveprocessbyvolume.Thecleaningmethodandtheselectionofadifferentlotionandthreeparameters(irradiationtime,illuminance,irradiationdistance)werestudiedandtheexperimentalparameterswereoptimizedtoimprovetheACFbyaseriesofexperiments.
Keywords:ultravioletraysclean(UVCLEAN);cleanliness;wettingangle;ACF
引言
伴随着半导体、液晶零部件以及ColorFilter(彩色滤色片)等微电子高密度化和微细加工技术的进步，对集成电路板洁净度的要求越来越高，利用传统的WET清洗工艺已无法清除残留在电路板表面的微量有机物质，UVCLEAN（紫外光清洗）可以非常有效地清除这些有机物质微粒，该技术主要是利用原子键的断裂、结合过程中能量的交换来实现清洗目的，利用光子对有机化合物的光敏氧化作用达到去除粘附在材料表面上的有机物质，经过紫外光清洗后的材料表面可以达到“原子清洁度”。因此紫外光清洗技术已成为现今半导体、液晶显示器和光电组件提高制品良率不可欠缺的技术。同时，紫外清洗工艺可以在常压下进行（不需要在复杂的真空装置下进行），是一种非常简便、经济、有效的清洗方法。并且紫外光清洗过的基板表面濡性（wetting亲水性）也得到了改善，对于即将涂布其上的光阻剂、绝缘膜、固定胶等薄膜，除了可以有效地降低涂布厚度外，还大幅度提高了表面贴合强度和吸附力。在LCD生产过程中，清除吸附在ITO玻璃表面的各种有害杂质或油污直接影响着液晶显示器的质量，没有经过紫外光清洗的氧化铟锡ITO玻璃基片，俄歇电子能谱分析曲线上会看到有明显的碳峰，表明有碳氢化合物存在，而经过紫外光清洗的ITO玻璃的俄歇电子能谱分析曲线上的碳峰消失了，表明ITO玻璃表面已经没有残存的碳氢化合物，达到了原子清洁度
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