《硅材料生产技术》实验教学大纲.docx

《硅材料生产技术》实验教学大纲.docx

  1. 1、本文档共8页,可阅读全部内容。
  2. 2、有哪些信誉好的足球投注网站(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
  3. 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载
  4. 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
查看更多

《硅材料生产技术》实验教学大纲

大纲主撰人:xxx大纲审核人:xxx

一、课程基本情况

课程代码:101145223201

课程名称(中/英文):硅材料生产技术/TechnologyofSiliconMaterialProduction

课程类别:专业方向特色课程

课程性质:专业选修课程

课程类型:课程实验

总学分:3.5

总学时:56

实验/实践学时:16

适用专业:材料物理

适用对象:本科

先修课程:半导体物理与器件,材料研究与测试方法

开课学院:材料科学与工程学院

二、课程简介

《硅材料生产技术》实验课程是材料物理专业的一门课程实验。使学生理解和掌握半导体硅材料常规电学参数(电阻率和少数载流子寿命)的物理测试方法和检测晶体缺陷的化学腐蚀法的原理及分析方法,理解纯水的制备流程及高纯水分析检测方法。通过本实验课程内容的学习,提高学生在硅材料性能检测、生产工艺等方面综合能力,培养学生的实践能力和创新能力。

三、实验教学目标

通过本课程的学习,使学生掌握有关硅材料的常规仪器设备的工作原理和操作规范,培养学生使用仪器、观察现象、正确记录数据、处理数据和分析实验结果的能力。同时培养学生团队精神、创新能力和一定的科研能力。

四、实验项目及学时安排

序号

实验项目名称

实验

学时

实验

类型

实验

要求

每组

人数

备注

1

硅单晶电阻率的测试

4

综合性

必做

4-6

2

化学腐蚀法检测晶体缺陷

4

验证性

必做

4-6

3

硅单晶少数载流子寿命的测试

4

综合性

必做

4-6

4

离子交换法制备纯水以及高纯水的检测

4

演示性

必做

4-6

五、实验内容

实验一硅单晶电阻率的测试实验

实验目的:学习单晶硅电阻率性能测试仪器--四探针电阻率测试仪的原理与构造以及通过四探针法测试硅单晶的实验步骤、实验原理和性质分析。

实验设备:KDY-1型四探针电阻率/方阻测试仪

实验内容及步骤:

实验内容

半导体硅单晶电阻率的测量;熟悉四探针电阻率测试仪的原理构造,能够熟练操作四探针电阻率测试仪设备并能够通过分析测试结果判定单晶硅的物理性能。

实验步骤

(1)主机面板、背板介绍

仪器除电源开关在背板外其它控制部分均安装在面板上,面板的左边集中了所有与测量电流有关的显示和控制部份,电流表(DMV1)显示各档电流值,电流选择按钮供电流选档用,~220V电源接通后仪器自动选择在常用的1.0mA档,此时1.0上方的红色指示灯亮,随着选择开关的按动,指示灯在不同的档位亮起,直选到档位合适为止。打开恒流源,上方指示灯亮,电流表显示电流值,调节粗调旋钮使前三位数达到目标值,再调细调旋钮使后两位数达到目标值。这样就完成了电流调节工作,此时我们可以把注意力集中到右边,面板的右边集中了所有电压测量有关的控制部件,电压表(DMV2)显示各档(ρ/R手动/自动)的正向、反向电压测量值。ρ/R键必须选对,否则测量值会相差10倍;同样手/自动档也必须选对,否则仪器拒绝工作。

(2)使用仪器前将电源线、测试架联接线、主机与微控制器的连接线(如使KDY测量系统)联接好,并注意一下测试架上是否已接好探针头。电源线插头插入~220V座插后,开启背板上的电源开关,此时前面板上的数字表、发光二极管都会亮起来。探针头压在被测单晶上,打开恒流源开关,左边的表显示从1、4探针流入单晶的测量电流,右边的表显示电阻率(测单晶锭时)或2、3探针间的电位差。电流大小通过旋转前面板左下方的两个电位器旋钮加以调节,其它正、反向测量、ρ/R选择、自动/手动测量都通过前面板上可自锁的按钮开关控制。

(3)仪器测量电流分五档:0.01mA(10μA)、0.1mA(100μA)、1mA、10mA、100mA,读数方法如下:

电流表显示1.0000时为本档满档电流,

在0.01mA档显示:1.0000表示电流为:0.01mA×1.0000=0.01mA

在0.01mA档显示:0.6282表示电流为:0.01mA×0.6282=0.006282mA

(4)如果根据计算公式手动进行精确计算时,仪器电压表读数方法为:如电压表显示01000(忽略小数点),则电压读数为10.00mV,即当选择不同档位进行测量时,不论小数点移动到哪里,读取电压值时小数点相当于固定在000.00处。

电流档的选择采用循环步进式的选择方式,在仪器面板上有一个电流选择按钮,每按一次进一档,仪器通电后自动设定在常用的1.0mA档,如果你不断地按下“电流选择”按钮,电流档位按下列顺序不断地循环。

1.0mA→10mA→100mA→0.01mA→0.1mA→1.0mA→10mA→……

可以快速找到你所需要的档位。

(4)恒流源开关是在发现探

文档评论(0)

与知同行 + 关注
实名认证
内容提供者

教师资格证持证人

知识传播者

领域认证该用户于2024年08月12日上传了教师资格证

1亿VIP精品文档

相关文档