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拉晶工艺指导书--第1页

拉

晶

工

艺

指

导

书

0

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拉晶工艺指导书--第2页

一、有关说明

（一）、

晶体直径

坩埚转动（连续可调）1-30rpm

液压缸行程

加热功率最大140kW

-加热电压0–60Volt

-加热电流最大2,300Amp

熔化温度最大1,600°C

主炉室真空泵抽速

-滑阀泵(主泵)大约70l/s

-旋片泵(副泵)大约15l/s

冷态空炉子的极限真空度≤3Pa

冷态炉子的泄漏率（压升法）最大0.3Pa/min

允许工作正压

不带泵和走道的空间要求

总设备高度

外围设施

-冷却水消耗量最小20m3/min

-冷却水压力

绝对压力最小1.5kg/cm2

最大2.0kg/c

冷却水回水压力

-绝对压力最大1.5kg/cm2

-冷却水进水温度最小20°C

最大25°C