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篇一：篇一：PVDPVDPVD真空镀膜机作业指导书
PVD真空镀膜机作业指导书
一．开机
1.检查水路是否畅通，确定冷却塔、激进泵是否正常工作（水压需达到
0.4Mpa以上）。
2.检查气路是否畅通，确定空压机是否正常工作（气压需达到0.5Mpa）。
3．开启电源开关，打开《开机》、《维持泵》开关，待真空计的热偶计读数在
10pa以下时，打开《扩散泵温控仪1、2》，《扩散泵1、2》四个开关。即扩
散泵升温（大约1小时左右）。
4.距加热时间约10分钟左右，开启低温捕集器，待6分钟冷却时间过后，按
《F1》启动低温捕集器。待温控仪上的设定温度达到时，即可正常生产操作。
二．生产操作
1.确定真空室内膜料、离子源灯丝、工件架已按要求放置完毕。
2.开启《粗抽泵》，将抽气手自动档切换至自动档，打开《自动抽气》开关，
待真空室大门吸合即可。
3.当罗茨泵自动开启时，按低温捕集器《F2》，开启捕集器制冷功能。
4.此操作应工艺的不同而有较大的变化，此处不一一详述，即为口述。
5.工艺完成后，关闭电子枪、离子源（必须先归零灯丝电
流，再关电源）等开关，打开《自动充气》开关，待精抽阀闭合后，将抽气手
自动档切换至手动档（此处必需注意除维持泵、扩散泵、粗抽泵、开机这四个
开关是按下去的外，其他开关都不可按下，以免操作失误造成扩散泵暴露大
气！），按捕集器F3，开启回温功能，待低温捕集器温度回温到30摄氏度以
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上，打开《充气阀》，待真空室门打开，关闭《充气阀》。（注：《自动抽气》
与《自动充气》开关严禁混淆）
6.以上循环，即为正常操作流程。
三．停机
1.将真空室门吸合，抽至一定真空，关闭除《停机》开关
的所有开关。（注：此停机开关，正常生产中严禁开启）
2.待真空镀膜机冷却一小时后，方可关闭电源，空压机，
冷却塔，激进泵。
注：以上所有操作必须严格执行，未经允许
不可更改(来自:WWw.:pvd:WWw.:pvd作业指导书)，若应操作失误造成镀膜机受到损坏，
影响等因素，操作员将承担相应责任。
警告:本机器有多处高压变压器，电压高达
8KV，为避免安全事故，未经允许不可开启电柜、真空室下的屏蔽门。
篇二：PVDPVD操作使用说明操作使用说明
“稀土永磁材料表面防护磁控溅射”使用说明
控制和显示面板
溅射/偏压电源控制设定面板
目录
系统抽
气
3
大腔室抽
气
3
小腔室抽
气
3
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大腔室抽气系统关
闭
3
小腔室抽气系统关
闭
3
离子源的工
作
4
离子源1的使
用
4
离子源2的使
用
5
离子源3的使
用
5
磁控圆形靶的使
用
5
C1或C4的使
用
5
磁控矩形靶的使
用
8
中频电源的使
用
9
脉冲电源2的使
用
9
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样品转盘的使
用
10
真空室1样品转盘的使
用
10
真空室2样品转盘的使
用
10
加热电源的使
用
10
励磁电源的使
用
11
升降电机的使
用
11
状态指
示
11
靶材更
换
12
圆形靶的更
换
12
矩形靶的更
换
12
软件连锁说
明
12
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偏压的操
作
13
系统抽气
大腔室抽气
?注意：抽
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