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典型超纯水工艺流程设计方案--第1页

典型超纯水工艺流程设计方案

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典型超纯水工艺流程设计方案--第1页

典型超纯水工艺流程设计方案--第2页

进水电导率400μs/cm的含EDI设备的典型超纯水工艺流程设计方案

1纯化水工艺设计方案：产水水质标准达到的标准：中国药典2005版纯化水标准

自来水→预处理→一级反渗透→一级EDI→UV杀菌→超滤除热原设备→用水

自来水→预处理→一级反渗透→二级EDI→UV杀菌→超滤除热原设备→用水

2注射用水工艺设计方案：产水水质标准达到的标准：中国药典2005版注射用水标准

自来水→预处理→一级反渗透→一级EDI→微滤→多效蒸馏除热原设备→用水

自来水→预处理→一级反渗透→二级EDI→微滤→超滤除热源设备→用水

3电厂高压锅炉给水工艺设计方案产水水质标准达到的标准：工业锅炉水质GB1576-

2001

自来水→预处理→一级反渗透→脱气装置→二级EDI→微滤→用水

自来水→预处理→一级反渗透→脱气装置→PH调节→二级反渗透→一级EDI→微滤→用水

4微电子/半导体级超纯水工艺设计方案产水水质标准达到的标准：中国电子工业部高

纯水水质试行标准

自来水→预处理→一级反渗透→脱气装置→二级EDI→UV杀菌装置→超滤→用水

自来水→预处理→一级反渗透→脱气装置→PH调节→二级反渗透→一级EDI→抛光混床

→UV杀菌装置→超滤→用水

5实验室用分析级纯水工艺设计方案产水水质标准达到的标准：分析级实验室用水标准

GB6682-2000

自来水→预处理→一级反渗透→二级EDI→UV杀菌装置→超滤→用水

自来水→预处理→二级反渗透→一级EDI→UV杀菌装置→超滤→用水

进水电导率在400～1000μs/cm的含EDI设备的典型超纯水工艺流程设计方案

典型超纯水工艺流程设计方案--第2页

典型超纯水工艺流程设计方案--第3页

1纯化水工艺设计方案：产水水质标准达到的标准：中国药典2005版纯化水标准

自来水→预处理→一级反渗透→二级EDI→UV杀菌→微滤→用水

自来水→预处理→一级反渗透→脱气装置→PH调节→二级反渗透→一级EDI→UV杀菌→

微滤→用水

2注射用水工艺设计方案：产水水质标准达到的标准：中国药典2005版注射用水标准

自来水→预处理→二级反渗透→一级EDI→多效蒸馏除热源设备→用水

自来水→预处理→一级反渗透→二级EDI→UV杀菌装置→超滤除热源设备→用水

3电厂高压锅炉给水工艺设计方案产水水质标准达到的标准：工业锅炉水质GB1576-

2001

自来水→预处理→一级反渗透→脱气装置→PH调节→二级反渗透→一级EDI→混床→微滤

→用水

自来水→预处理→一级反渗透→脱气装置→二级EDI→微滤→用水

4微电子/半导体级超纯水工艺设计方案产水水质标准达到的标准：中国电子工业部高

纯水水质试行标准

自来水→预处理→一级反渗透→脱气装置→二级EDI→抛光混床→UV杀菌装置→超滤→用

水

自来水→预处理→一级反渗透→脱气装置→PH调节→二级反渗透→一级EDI→抛光混床

→UV杀菌装置→超滤→用水

5实验室用分析级纯水工艺设计方案产水水质标准达到的标准：分析级实验室用水标准

GB6682-2000Ⅰ级标准

自来水→预处理→一级反渗透→二级EDI→UV杀菌装置→超滤→用水

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典型超纯水工艺流程设计方案--第4页

自来水→预处理→一级反渗透→脱气装置→PH调节→二级反渗透→一级EDI→UV杀菌装

置→超滤→用水

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