单晶炉拆装炉具体操作步骤.pdf

单晶炉拆装炉具体操作步骤--第1页

各环节操作要求

一、开炉

拆炉前要先关闭氩气开度，关闭氩气开关V3，将炉内抽到极限压

力。查看单晶位臵，将单晶升到副室内。取开炉用品（石墨件车，单

晶车，石棉手套，坩埚盆等）。炉内真空达到极限后（正常应该抽到

5Pa以下），进行热检，关闭主泵开度归零后关闭主泵电源。等炉压

稳定后进行检漏，压差为3min＜1pa。即为合格，进行开炉。打开V1

氩气，将炉内充到常压。当炉内达到常压后，关闭翻板阀，将副室升

起，打开单晶托盘，缓慢将副室旋至炉旁，将单晶扶稳，挪开托盘，

将单晶降到单晶车上后打开翻板阀。

※注意事项：“降单晶时注意要保持单晶平稳，防止单晶在未降到

底部时卡到单晶车的横称上。当单晶降稳后，一人扶住单晶，一人剪

断籽晶，同时用力攥住重锤上方钢丝绳，缓慢释放扭力，防止钢丝绳

散花打结出现硬弯。将单晶车放稳，将籽晶降下，检查籽晶、石墨夹

头、白钢重锤连接件和钢丝绳变色情况。检查完毕后，将籽晶升回副

室。升起炉盖，取出石墨件。取炉内石墨件时注意佩戴好劳工工具，

避免造成烫伤。石墨件必须轻拿轻放，石墨件车上必须放臵好洁净的

隔热布。将石墨件取出后，连同单晶、锅底料一同放到库房内，进行

冷却。

二、淸炉

打开主泵开度，（主泵关闭状态下），将过滤罐内充到常压。取料

车，进行备料及取坩埚，取料后将工艺卡和原料进行仔细核对确认无

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单晶炉拆装炉具体操作步骤--第2页

误后拿进拉晶室。料锅备完后，放到炉旁，下楼进行清罐。清罐时注

意看清炉号，将过滤芯夹缝中的氧化物清理干净，如有缝隙较小难以

清理的必须用工具将缝隙内氧化物全部挂下并清理干净，将过滤罐的

胶圈清理干净，检查放气阀是否拧紧，检查好过滤罐各个胶圈，然后

扣盖。

清理炉盖及副室。炉盖内要将隔热玻璃取下进行清理，用擦炉纸蘸酒

精，将炉盖及方箱内各处擦拭干净，并将杂物取出。检查炉盖胶圈及

翻板阀胶圈是否完好，并进行清理。清理副室时用干净的擦炉纸蘸酒

精绑到擦拭工具上进行清理。在清理过程中注意避免碰撞籽晶。

然后清理防爆阀、热场及石墨件。清理防爆阀时注意避免胶圈掉落炉

下，用吸尘器将防爆阀内氧化物清理干净，并用擦炉纸擦拭干净，将

胶圈放臵好。

清理热场及石墨件。清理热场首先检查加热器螺丝是否断裂，加热器

是否平稳，抽气口是否堵塞，连杆是否平稳，连杆波纹管内是否有杂

物。然后用吸尘器对炉内进行清理，清除掉加热器附着的氧化物、炉

内因开炉掉落的石英片及锅底料，及两侧管道内存留的大量氧化物。

清理石墨件时，首先查看埚帮是否有断裂，老化程度是否严重，（如

有问题及时请班长或段长确认），将石墨件清理干净后放回热场内准

备装料。将导流罩内外清理干净，石英内罩用擦炉纸轻轻擦拭，切勿

用力，避免擦炉纸在导流罩上残留。检查导流罩下沿有无粘料、及裂

痕，要及时处理。清理干净后将导流罩放到干净的擦炉纸上，避免再

次污染。

单晶炉拆装炉具体操作步骤--第2页

单晶炉拆装炉具体操作步骤--第3页

四、装料

装料前，先将所需用品备齐(一次性手套，口罩，帽子，白大褂等)，

并进行更换。洁净用品佩戴齐全后取出坩埚进行检查，确认没有问题

后放入炉内，轻拿轻放，避免磕碰。将原料开口，再开袋时尽量一次

剌开，避免反复剌袋造成碎袋掉入原料中。

开始装料。装料时，注意大小块的搭配，小料不能放到石英坩埚R

角以下的部位，那样拉出的单晶容易产生针孔。装料期间注意洁净度，

一次性手套脏了，漏了就要及时更换，避免将料掉到热场内及地上，

不要磕碰坩