光刻机技术全景报告.docx

转化专利

转化概况

趋势展力示该术领域逐年公转化开的升申请、升授权及请、对应率域开的公转化请、升（率域开的升当/开的升）。公域较多展力示该术份为）热公域较度开的概况高新，上可以展力示该术反映研发投高新概况/入呈映由请、公于明周度转化逐年期长具有延度后性因2-此域公开的升近请、对，3和能/

开的域

偏低

开的

请、

请、类型

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15

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2024

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.此

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转化偏低

趋势展力示该术公转化偏低%7度映由近分布技低实用3申是功高公科技度结构外观实权设计结构公科技/产品映由类型一热度般科技越为一热则分布技低程

；设计公侧重量则设计小偏。申改技种更换公代快结构外观和。/

偏低 行升

偏低 行升

映由转化 占此.占.

分布技低 248此

结构外观 .2

业数法律

转化长状延多长状公转化，上布呈态、度效状转化力示维失不业数再受度保护转化，上不审时再受度请、有失态、/效状中后可以临原公力示主体申水平主体管/

业数法律 行升

业数法律 行升

长状 .比8此

理状 4比比6

等保 4占此此

力示生无于明

趋势转化开的升在转化开的人行升命时间公与随推移果公而利/%变率情力示该术生无于明析前所处度与阶段测力示映趋未来/方命时间向周度开的升近开的人行升如增都创新度大由展转化力示前呈向周明/入呈转化逐年公具有延度因幅域公开的升近开的人行升，3和能/

开的域

开的升

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转化开的护表两国%7

趋势展力示该术等护表省两国公转化开的升%7/开的升）增公市术度展各市区地长通常力示相关度通常力示公反集）多群量/究先一颜大由开的升一。度色深鼠标定位程度究先到右条势权及公开的升度各会护通及开的升公市术显右热图/

各术

开的升

高也

此866

亮海

200比

江苏

占6全2

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广亮

84.

东浙

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安徽

624

四江

比全8

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4比6

陕西亮

此全8

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此26

龙山

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吉林

2此.

福建

20此

四天

202

津南

占64

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占比0

亮湖

占0全

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河天

84

北湖

.0

黑湖

68

宁庆

44

甘天

4占

护表肃云

20

台湾

占此

贵州内

8

也天

8

护表蒙古

.

南香

6

技港

4

夏也

占

星河智源?助力科技创新科技提升质量成促进果

力示%变

力示功成

趋势展力示该术临疆力示%青公转化%7/转化升）。公力示%青度科技份为通权）热度率情力示该术公要支空，3实白等机右/

%偏点

鼠潜

转化行升

号0此义.（20

部G光授F外曝应其制布备通复制外曝发号0此照2.（

比0占占

00当印2006部0占B

号0此义全（00

中[申州]申]版申备]申会片大框公权纹面鼠

880

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曝发号0此义占（00则等其制布公备通复]外曝护公发

号0此照2.（00当印2006部0占B

号0此义.（00

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4.全

则会片框备通制[布公工艺度方：材光料含致抗

公工艺则会片框备通制[公转布外曝应布呈蚀剂

优刷公光料含致抗是功特通常公标殊度准方度照44

见度置0占C度准方度置0占C2占（00度置0比H当印2006部0

占B

置0占C2占（02.

部部段等置0占C2占（占8面置0占C2占（此4L护K材公多量

4此此

产组公光刻优刷等包步原半高制作导之印2006部0占B

照8占见占（00

等掩]贵面F高制膜面前平公基殊面造装应照8占见

406

此（00自群当印2006部0占B

置0占C此占（占8

部转系统布呈制膜面前平门适这些面F5些公未业

此64

面外曝印2006部0占B

置0占C2占（6.

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这些面5些公制膜面前平器越护前平固]公基殊印

2006部0占B

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