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十级无尘室标准

十级无尘室标准

无尘室是一种特殊的洁净环境，主要用于电子、半导体、医药等行业

的生产和实验。十级无尘室是其中等级较高的一种，要求更加严格。

一、空气洁净度

十级无尘室的空气洁净度要求达到ISO14644-1标准中的Class7级

别，即每立方米空气中不得超过3500个0.5微米以上的颗粒物。

二、通风系统

1.空气流速：通风系统应保证适当的空气流速，一般在0.2-0.5米/秒

之间。

2.滤网：通风系统应配备高效过滤器，过滤效率不得低于99.99%。

3.循环方式：通风系统采用上送式循环方式，并设置回风口和排风口。

4.温度湿度控制：通风系统应能够控制温度和湿度，并保持稳定。

三、地面

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十级无尘室地面应平整光滑，材质为防静电PVC或Epoxy地坪，颜色

为灰色或浅蓝色。地面周围应设有防尘挡板。

四、墙壁和天花板

1.材质：墙壁和天花板应采用高密度防静电彩钢板或不锈钢板。

2.清洁：墙壁和天花板应保持清洁，不得有积尘、脏污等杂物。

3.封闭性：墙壁和天花板应具有良好的封闭性，无裂缝、缝隙等。

五、进出口

1.进出口室门：进出口室门应为双门或气帘式门，并设置自动关闭装

置。

2.活动门：活动门应为自动开启、关闭的无触点感应式门，避免人员

接触并减少空气污染。

六、照明设备

十级无尘室的照明设备应符合防静电要求，灯具表面不得有静电积聚。

灯具数量要足够，以保证照明充足。

七、人员要求

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1.穿戴：进入无尘室前必须更换专用工作服和鞋套，并佩戴帽子和口

罩。

2.体检：所有进入无尘室的人员必须进行身体检查，并定期进行健康

检查。

3.培训：所有进入无尘室的人员必须接受相关培训，了解无尘室的操

作规程和注意事项。

八、设备要求

1.设备清洁：所有进入无尘室的设备必须经过清洁处理，保证表面无

尘污和杂物。

2.静电控制：所有进入无尘室的设备必须具有防静电措施，避免静电

积聚和放电。

九、检测要求

十级无尘室应定期进行空气质量检测和微生物检测，并记录检测结果。

出现异常情况时应及时采取措施处理。

十、清洁要求

1.清洁周期：十级无尘室应按照规定周期进行清洁，一般为每周一次。

2.清洁方法：清洁应采用特殊的工具和方法，不能使用带有纤维或毛

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发的清洁工具。

3.清洁剂选择：清洁剂应为专用的低离子型或非离子型清洗剂，并按

照使用说明进行使用。

以上是十级无尘室标准的详细内容，严格遵循这些标准可以保证无尘

室的洁净度和安全性，为生产和实验提供良好的环境保障。

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