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题目：基于白光干涉的纳米膜层测量方法
目录
TOC\o1-3\h\z\u摘要 1
Abstract 2
1绪论 3
1.1薄膜厚度对薄膜性能的影响 3
1.2常用膜厚测量方法介绍 3
1.3本文的主要工作内容 5
2白光干涉测量薄膜厚度原理 6
2.1部分相干光理论 6
2.1.1部分相干光的复数表示与光强 6
2.1.2互相干函数和复相干度 7
2.1.3频谱干涉和谱相干度 7
2.2薄膜的多光束干涉原理 8
2.3白光反射光谱原理 9
2.3.1极值法 9
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