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《半导体材料测试与分析》读书札记

目录

一、半导体材料测试与分析概述................................3

1.半导体材料的定义与分类................................4

2.半导体材料测试与分析的目的与意义......................5

二、半导体材料的物理化学性质................................6

1.半导体的导电性........................................8

2.半导体的光学特性......................................9

3.半导体的热学性质.....................................10

4.半导体的磁学性质.....................................11

三、半导体材料的结构与表征.................................12

1.半导体的晶体结构.....................................13

2.半导体的表面形貌.....................................14

3.半导体的成分分析.....................................15

四、半导体材料的电子特性测试方法...........................17

1.电阻率测试...........................................18

2.电导率测试...........................................19

3.介电常数测试.........................................19

4.荷尔效应测试.........................................21

5.光电子能谱测试.......................................22

五、半导体材料的化学特性测试方法...........................24

1.X射线衍射分析........................................26

2.扫描电子显微镜.......................................27

3.荧光光谱分析.........................................28

4.红外光谱分析.........................................30

5.核磁共振波谱分析.....................................31

六、半导体材料的力学性能测试方法...........................32

1.拉伸试验.............................................34

2.压缩试验.............................................35

3.硬度试验.............................................37

4.表面硬度试验.........................................38

5.蠕变试验.............................................39

七、半导体材料的工艺性能测试方法...........................40

1.沉积与刻蚀速率测试...................................41

2.表面粗糙度测试.......................................42

3.热处理过程中的性能变化...............................43

4.光刻胶性能测试.......................................44

5.高低温性能测试.......................................45

八、实验设计与数据分析.....................................46

1.实验方案设计...........................